[发明专利]热光学移相器

权利要求书

1.一种热光学移相器，其具有衬底(1)、以及包括光波导和加热器 (6)的复合体，其中所述光波导包括芯层(4)和包覆层(3，5)，所述 加热器附装在所述光波导上，所述热光学移相器的特征在于：

所述复合体具有桥结构部分以及固定部分，所述桥结构部分通过间隙 与所述衬底(1)的表面相分离并且沿着所述衬底的表面设置，所述固定 部分在所述衬底(1)上支撑所述桥结构部分并且连接到所述桥结构部分 的两端；

所述桥结构部分在沿着所述衬底(1)的表面的平面中具有弯曲的形 状；以及

所述桥结构部分的两端在沿着所述衬底(1)的表面的平面中被形成 为渐尖的形状，以朝向所述桥结构部分的中央区域减小宽度。

2.根据权利要求1所述的热光学移相器，其中，所述桥结构部分的所 述弯曲的形状为圆弧形或圆弧形的结合形状。

3.根据权利要求2所述的热光学移相器，其中，所述桥结构部分的所 述圆弧形对曲率中心形成45°到180°的角。

4.根据权利要求1所述的热光学移相器，其中，所述桥结构部分的所 述弯曲的形状具有0.05到1mm的曲率半径(R)。

5.根据权利要求1所述的热光学移相器，其中，所述光波导的所述芯 层(4)的折射率与所述包覆层(3，5)的折射率之间的差值相对于所述 芯层(4)的所述折射率的比值达到或超过4％。

6.根据权利要求1所述的热光学移相器，其中，所述光波导的所述包 覆层(3，5)是由玻璃材料制成。

7.根据权利要求1所述的热光学移相器，其中，所述光波导的所述芯 层(4)是由SiON或Si制成。

8.根据权利要求1所述的热光学移相器，其中，所述热光学移相器包 括至少一个支撑部分，所述支撑部分在所述桥结构部分的两端之间的所述 衬底上支撑所述桥结构部分。

9.根据权利要求8所述的热光学移相器，其中，所述光波导在所述固 定部分与所述支撑部分之间或在相互邻接的两个所述支撑部分之间具有 0.5到2mm的长度。