[实用新型]一种掩膜版清洗夹具有效
| 申请号: | 200820212047.4 | 申请日: | 2008-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN201271647Y | 公开(公告)日: | 2009-07-15 |
| 发明(设计)人: | 鄢红军 | 申请(专利权)人: | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | B08B13/00 | 分类号: | B08B13/00;B25B11/00 |
| 代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人: | 张全文 |
| 地址: | 518057广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜版 清洗 夹具 | ||
1、一种掩膜版清洗夹具,包括一底板和一对或两对呈对角设置的夹块,所述底板的对角处分别对应设有可与所述夹块装配的凸块,其特征在于:所述夹块中间开设有一倾斜的导流槽,所述导流槽两侧各设有一上圆弧端和一下圆弧端,所述下圆弧端突出于上圆弧端之外形成一用于放置掩膜版的台阶。
2、如权利要求1所述的掩膜版清洗夹具,其特征在于:所述上圆弧端的半径大于所述下圆弧端的半径。
3、如权利要求1或2所述的掩膜版清洗夹具,其特征在于:所述凸块上开设有两个螺纹通孔,所述夹块底面对应开设有两个螺纹盲孔,所述螺纹通孔与所述螺纹盲孔通过螺钉连接在一起。
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