[实用新型]管道止漏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体制造设备，特别涉及一种修补管道的管道止漏装置。

背景技术

在半导体制造工艺中很多都需要采用高温、高压机组，随着使用时间的延长，机组设备出现老化，其中的管道渗漏难以避免。管道渗漏严重时，甚至需要停机检修。如果停机处理管道渗漏，必须先通过冷机组减压，才可以维修。维修是在渗漏处的管道上直接进行焊接，或是将原来渗漏点所在部分的管道切割掉，再用新的管道焊接替换，然后重新开机进行生产，而一般半导体生产过程中，机组需要一直保持运转，才能保证半导体的顺利生产，如重启机组则会造成生产线上半导体生产进度的中断，导致处理中的半导体报废，产生大量的费用，这样将会给半导体生产造成严重的损失。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种管道止漏装置，以解决现有技术中，在半导体生产过程中因管道渗漏，需要停机维修所造成的严重损失等技术问题。

本实用新型提供一种管道止漏装置，包括：保护套管，用于套接在渗漏的管道上；法兰，套接固定在上述保护套管两端的上述管道上；螺纹钢，焊接在上述保护套管上；其中，上述保护套管通过上述螺纹钢和螺母与上述法兰固接。

可选的，上述保护套管是沿轴向对开的两半圆卡管扣合在上述渗漏的管道上，上述保护套管的内径大于上述管道的外径。

可选的，上述保护套管的材料为碳钢。

可选的，上述保护套管上具有一排水阀。

可选的，上述保护套管上具有一排气阀。

可选的，上述保护套管与上述管道套接处设置有第一密封圈。

可选的，上述第一密封圈是所述法兰经加工后为环状，焊接固定在上述保护套管内壁上。

可选的，上述保护套管与上述法兰固接处设置第二密封圈。

可选的，在上述第一密封圈与上述第二密封圈之间填充密封材料。

可选的，上述密封材料为石墨或石棉条。

综上所述，采用本实用新型所提供的这种结构的止漏装置，可以快速解决压力管道漏液的问题，降低维修固定连接难度，止漏成功率高，使得在半导体生产过程中不用停机即可进行压力管道维修，避免了因停机维修所造成的损失，并具有结构简单、维修方便、省时省力、成本低等优点。

附图说明

图1A所示为本实用新型一实施例所提供的止漏装置的侧视图；

图1B所示为本实用新型一实施例所提供的止漏装置的俯视图；

图1C所示为本实用新型一实施例所提供的止漏装置的剖视图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂，给出较佳实施例并结合附图，对本实用新型作进一步说明。

请结合参见图1A、图1B和图1C，其所示为本实用新型一实施例所提供的止漏装置的结构示意图。该管道止漏装置100，包括：保护套管110，用于套接在渗漏的管道200上；法兰120，套接固定在上述保护套管110两端的上述管道200上；螺纹钢130，焊接在上述保护套管110上；其中，上述保护套管110通过上述螺纹钢130和螺母140与上述法兰120固接。

首先，用保护套管110套接在渗漏的管道200上，其中保护套管110的管径大于渗漏的管道200的管径；然后，在保护套管110两端的管道200上分别套接固定法兰120；将螺纹钢130焊接在保护套管110上，为了更加稳固，在保护套管110的两端各焊接4根螺纹钢130，且用满焊焊接；最后，将螺纹钢130插入到法兰120的固定孔，利用螺母140拧紧，使保护套管110与法兰120固接。

用保护套管110对渗漏的管道200进行密封包覆，就不需要直接在渗漏的管道200上进行维修，而且保证了原来管路中液体的通畅，这就使得压力管道泄漏时不用停机即可进行维修，避免了因停机维修所造成的损失，并具有结构简单、维修方便、省时省力、成本低等优点。此外，也避免了在开机时直接焊接管道时，由于高温高压可能导致焊接不密封，并有效防止了因焊接可能造成渗漏点进一步扩大的问题。

在本实用新型一实施例中，为了在不切断渗漏的管道200时，把保护套管110套接到管道200上，先将保护套管110沿轴向对开成两个半圆卡管，再扣合在渗漏的管道200上。

在半导体制造中，一般所需的都是高温高压液体，比如：90℃，每平方厘米4公斤的压力，这就需要管道为能耐高温高压的材料制成，所以在本实用新型一实施例中，保护套管110所采用的材料为碳钢。