[实用新型]一种简易抛光机台有效

专利信息
申请号: 200820057691.9 申请日: 2008-04-24
公开(公告)号: CN201186404Y 公开(公告)日: 2009-01-28
发明(设计)人: 龚伟平;李仲劼;郭军伟;许松 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: B24B29/00 分类号: B24B29/00;B24B41/06;H01L21/304
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 简易 抛光 机台
【权利要求书】:

1、一种简易抛光机台,其具有基座和设置在基座上用于抛光晶粒的抛光台,其特征在于,该简易抛光机台还具有设置在基座上且用于夹持晶粒以在抛光台上抛光的夹持模块,该夹持模块具有一架设在抛光台上的支架和多个设置在该支架上且用于夹持晶粒的夹持单元。

2、如权利要求1所述的简易抛光机台,其特征在于,该夹持单元具有一有纹中空螺栓、一从其尾部穿设在该有纹中空螺栓中的顶推螺栓、一连接在顶推螺栓的螺头上且用于夹持晶粒的夹持件、一套设在该有纹中空螺栓上且在有纹中空螺栓和顶推螺栓两者间提供弹力的弹性件、一垂直设置在顶推螺栓穿出该有纹中空螺栓的螺柱上且通过弹性件的弹力将顶推螺栓压固在该有纹中空螺栓上的销固件、一竖直连接在顶推螺栓尾部用于供使用者提拉顶推螺栓的提拉件,该有纹中空螺栓上依次旋合有一固定螺母和一弹性调节螺母,该固定螺母配合有纹中空螺栓的螺头将该有纹中空螺栓固定在支架上,该弹性调节螺母配合顶推螺栓的螺头固定弹性件且用于调节弹性件长度以调节夹持件上的弹力,该有纹中空螺栓在距螺头一预设长度上垂直开设有一销孔或螺纹,该销固件设置在该销孔或螺纹中。

3、如权利要求2所述的简易抛光机台,其特征在于,该预设长度大于该有纹中空螺栓的长度且小于有纹中空螺栓与弹性件的长度和。

4、如权利要求2所述的简易抛光机台,其特征在于,该有纹中空螺栓的螺头上对应该销固件开设有至少一容置凹槽。

5、如权利要求2所述的简易抛光机台,其特征在于,该夹持件为垂直夹持件、水平夹持件或斜面夹持件,其中,该垂直夹持件用于夹持晶粒以使其与抛光台垂直,该水平夹持件用于夹持晶粒以使其与抛光台平行,该斜面夹持件用于夹持晶粒以使其与抛光台成一锐角。

6、如权利要求1所述的简易抛光机台,其特征在于,该支架包括分别固定在基座两侧壁上且平行等高的两立板以及跨设在两立板间用于设置夹持单元的水平支架。

7、如权利要求6所述的简易抛光机台,其特征在于,该水平支架具有跨设在两立板间的中心横梁以及对称设置在该中心横梁中部的多个悬臂。

8、如权利要求7所述的简易抛光机台,其特征在于,该多个悬臂对称卡固在该中心横梁的中部且在外力作用下可沿其中心轴线转动。

9、如权利要求7所述的简易抛光机台,其特征在于,该中心横梁、多个悬臂上均具有导轨,该夹持单元经由导轨固定在水平支架上且可沿该导轨移动。

10、如权利要求9所述的简易抛光机台,其特征在于,该导轨为通槽。

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