[实用新型]用于制备飞机碳刹车盘的化学气相沉积炉无效
| 申请号: | 200820038476.4 | 申请日: | 2008-07-17 |
| 公开(公告)号: | CN201224760Y | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
| 发明(设计)人: | 居小平;孙文革;邓昕 | 申请(专利权)人: | 居小平;孙文革;邓昕 |
| 主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26 |
| 代理公司: | 扬州市锦江专利事务所 | 代理人: | 江 平 |
| 地址: | 225200江苏省江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 制备 飞机 刹车 化学 沉积 | ||
1、用于制备飞机碳刹车盘的化学气相沉积炉,其特征在于包括一环状保温层,在保温层的上端设置保温盖,保温层的内壁设置具有发热腔的发热体,在保温层下端设置下托板,在下托板上方的发热腔中设置石墨下盖板,在石墨下盖板上方布置石墨上盖板,在石墨上盖板和保温盖的中心分别开设通孔,在两个通孔之间密封连接一石墨管。
2、根据权利要求1所述用于制备飞机碳刹车盘的化学气相沉积炉,其特征在于所述石墨管的两端分别通过紧固螺母连接在石墨上盖板和保温盖上。
3 根据权利要求1所述用于制备飞机碳刹车盘的化学气相沉积炉,其特征在于所述石墨上盖板的通孔的孔径为50~200mm。
4、根据权利要求1所述用于制备飞机碳刹车盘的化学气相沉积炉,其特征在于所述保温盖的通孔的孔径为50~200mm。
5、根据权利要求1或2或3或4所述用于制备飞机碳刹车盘的化学气相沉积炉,其特征在于石墨上盖板和保温盖的通孔孔径相同。
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





