[实用新型]光刻机曝光系统

权利要求书

1.光刻机曝光系统，包括LED光源[1]、曝光控制系统[2]、驱动电路[3]、光电探测器A[4]、光电探测器B[5]、分束器[6]、光路组件A[7]、光路组件B[8]、空间图形发生器SLM[9]、物镜[10]、上位机[11]，其特征在于：

曝光控制系统[2]与上位机[11]连接，上位机[11]输出控制信号至空间图形发生器SLM[9]，空间图形发生器SLM[9]产生曝光图形，LED光源[1]发出的光束经过光路组件A[7]、空间图形发生器SLM[9]、光路组件B[8]、分束器[6]、物镜[10]后照射基片[12]，光电探测器A[4]检测LED光源[1]的输出光信号并将输出送至驱动电路[3]，光电探测器B[5]检测分束器[6]分出的光束信号并将输出送至曝光控制系统[2]，曝光控制系统[2]的输出送至驱动电路[3]，驱动电路[3]的输出送至LED光源[1]以控制其输出光功率和曝光剂量。

2.如权利要求1所述的光刻机曝光系统，其特征在于：驱动电路包括光电转换放大电路，反相放大器，比例求和放大电路，LED恒流源驱动电路，

光电转换放大电路包括运算放大器U1与电阻R1、电容C1，反相放大器包括运算放大器U2、电阻R2、R3、R4，运算放大器U3作为电压跟随器，比例求和电路包括运算放大器U4与电阻R11、R12、R13、R14，LED恒流源驱动电路包括运算放大器U5、U6、三极管N1、电阻R7；

光电探测器A输出的光电流信号I连接光电转换放大电路中的运算放大器U1的输入，运算放大器U1的输出与反相放大器U2的输入端连接，U2的输出与电压跟随器的运算放大器U3的输出与比例求和电路中的运算放大器U4的输入端连接，运算放大器U4、U5输出与运算放大器U6输入端连接。