[发明专利]显影液组成物无效
| 申请号: | 200810239772.5 | 申请日: | 2008-12-16 |
| 公开(公告)号: | CN101750909A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
| 发明(设计)人: | 张海清;杨久霞;张卓;赵吉生;李琳;何璇 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
| 代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 刘芳 |
| 地址: | 100016 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显影液 组成 | ||
1.一种显影液组成物,包括表面活性剂、碱性物质和水,其特征在于:所述表面活性剂为非离子表面活性剂,其化学式如下:
其中m1、m2、m3和m4分别为丙氧基嵌段的个数,n1、n2、n3和n4分别为乙氧基嵌段的个数;
所述非离子表面活性剂的相对分子质量为550~30000,所述丙氧基嵌段的相对分子质量至少为500,所述乙氧基嵌段占所述非离子表面活性剂的相对分子质量百分比为10%~80%。
2.根据权利要求1所述的显影液组成物,其特征在于:所述非离子表面活性剂占所述显影液组成物的质量百分比为0.01%~10.0%;和/或所述碱性物质占所述显影液组成物的质量百分比为0.01%~5.0%;所述水占所述显影液组成物的质量百分比为85.0%~99.98%。
3.根据权利要求1所述的显影液组成物,其特征在于:所述碱性物质为氢氧四甲基铵、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢钠、磷酸氢钾、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、三乙胺、2-羟基-氢氧三甲胺、二乙胺和二乙醇胺中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的显影液组成物,其特征在于:所述水为去离子水。
5.根据权利要求1~4任一所述的显影液组成物,其特征在于:所述m1、m2、m3和m4的值均为4,所述非离子表面活性剂占所述显影液组成物的质量百分比为0.4%;所述碱性物质为氢氧四甲基铵,其占所述显影液组成物的质量百分比为0.5%;所述水为去离子水,其占所述显影液组成物的质量百分比为99.1%。
6.根据权利要求5所述的显影液组成物,其特征在于:所述n1、n2、n3和n4的值为4~20。
7.根据权利要求6所述的显影液组成物,其特征在于:所述n1、n2、n3和n4的值为6~16。
8.根据权利要求1~4任一所述的显影液组成物,其特征在于:所述n1、n2、n3和n4的值均为6,所述非离子表面活性剂占所述显影液组成物的质量百分比为0.4%;所述碱性物质为氢氧四甲基铵,其占所述显影液组成物的质量百分比为0.5%;所述水为去离子水,其占所述显影液组成物的质量百分比为99.1%。
9.根据权利要求8所述的显影液组成物,其特征在于:所述m1、m2、m3和m4的值为3~15。
10.根据权利要求9所述的显影液组成物,其特征在于:所述m1、m2、m3和m4的值为4~12。
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