[发明专利]显影液组成物无效

专利信息
申请号: 200810239772.5 申请日: 2008-12-16
公开(公告)号: CN101750909A 公开(公告)日: 2010-06-23
发明(设计)人: 张海清;杨久霞;张卓;赵吉生;李琳;何璇 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司
主分类号: G03F7/32 分类号: G03F7/32
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 刘芳
地址: 100016 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 显影液 组成
【权利要求书】:

1.一种显影液组成物,包括表面活性剂、碱性物质和水,其特征在于:所述表面活性剂为非离子表面活性剂,其化学式如下:

其中m1、m2、m3和m4分别为丙氧基嵌段的个数,n1、n2、n3和n4分别为乙氧基嵌段的个数;

所述非离子表面活性剂的相对分子质量为550~30000,所述丙氧基嵌段的相对分子质量至少为500,所述乙氧基嵌段占所述非离子表面活性剂的相对分子质量百分比为10%~80%。

2.根据权利要求1所述的显影液组成物,其特征在于:所述非离子表面活性剂占所述显影液组成物的质量百分比为0.01%~10.0%;和/或所述碱性物质占所述显影液组成物的质量百分比为0.01%~5.0%;所述水占所述显影液组成物的质量百分比为85.0%~99.98%。

3.根据权利要求1所述的显影液组成物,其特征在于:所述碱性物质为氢氧四甲基铵、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢钠、磷酸氢钾、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、三乙胺、2-羟基-氢氧三甲胺、二乙胺和二乙醇胺中的一种或几种。

4.根据权利要求1所述的显影液组成物,其特征在于:所述水为去离子水。

5.根据权利要求1~4任一所述的显影液组成物,其特征在于:所述m1、m2、m3和m4的值均为4,所述非离子表面活性剂占所述显影液组成物的质量百分比为0.4%;所述碱性物质为氢氧四甲基铵,其占所述显影液组成物的质量百分比为0.5%;所述水为去离子水,其占所述显影液组成物的质量百分比为99.1%。

6.根据权利要求5所述的显影液组成物,其特征在于:所述n1、n2、n3和n4的值为4~20。

7.根据权利要求6所述的显影液组成物,其特征在于:所述n1、n2、n3和n4的值为6~16。

8.根据权利要求1~4任一所述的显影液组成物,其特征在于:所述n1、n2、n3和n4的值均为6,所述非离子表面活性剂占所述显影液组成物的质量百分比为0.4%;所述碱性物质为氢氧四甲基铵,其占所述显影液组成物的质量百分比为0.5%;所述水为去离子水,其占所述显影液组成物的质量百分比为99.1%。

9.根据权利要求8所述的显影液组成物,其特征在于:所述m1、m2、m3和m4的值为3~15。

10.根据权利要求9所述的显影液组成物,其特征在于:所述m1、m2、m3和m4的值为4~12。

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