[发明专利]一种减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺

权利要求书

1、一种减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特征在于：包括 下述步骤：

(1)制版：用CAD制图，采用光绘机制作玻璃工作版或菲林胶片版， 制版按A＝T/3计算，其中A为腐蚀余量，T为原材料厚度；

(2)备料：将钢带卷安装到放卷架上，或用剪板机将卷材切成单块板材；

(3)除油：对钢带或单块板材用清洗剂进行除油，再经过工业水及纯水 进行清洗干燥；

(4)感光材料涂敷：对经过除油的钢带用PVA感光胶涂敷，而后进入干 燥炉进行烘干；对除油后的单块板材用丝网涂敷感光性抗蚀油墨，一面涂墨 完成后在红外烘干机中烘干后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；

(5)曝光：将经过感光胶涂敷和烘干的钢带夹在玻璃工作版中进行紫外 线双面曝光，或将已烘干的油墨单块板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双 面曝光；

(6)显影：用纯水对经过曝光的钢带进行显影；或用Na₂CO₃溶液作为显 影液，对单块板材进行显影，将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；

(7)固化：显影过的钢带经过铬酸溶液坚膜，而后经过气割和固化炉固 化；或将显影后的单块板材在烘箱中加热固化；

(8)蚀刻：经过固化的钢带或单块板材进入腐蚀室在FeCl₃溶液中进行 蚀刻，或采用蚀刻机喷淋FeCl₃溶液蚀刻；

(9)剥膜：经过蚀刻的钢带在60～110℃的NaOH溶液中进行剥膜处理； 或将经过蚀刻的单块板材放入90℃±10℃的NaOH溶液进行剥膜处理；

(10)清洗烘干：钢带在剥膜处理后，依次经过水洗、中和、再水洗、 纯水洗后烘干；单块板材剥膜处理后，用清水、纯水清洗后烘干。

2.如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(4)中，PVA感光胶涂敷厚度控制在5.0～10.0μm。

3.如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(5)中，曝光时间：钢带为30～50s；单块板材为3～8s。

4.如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(6)中，钢带显影温度为20～50℃，显影压力为0.05～ 0.20Mpa；单块板材显影温度45℃±5℃，显影压力0.25±0.05Mpa；显影液 Na₂CO₃溶液的浓度为2.0～5.0％。

5.如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(7)中，铬酸溶液的浓度为1.60±0.50％。

6.如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(8)中，FeCl₃溶液的疲劳度为5～15％、游离酸浓度为 1.5～2.5％、波美为48.0±5.0Be′，腐蚀温度为40～55℃，腐蚀压力为0.20～ 0.50Mpa。

7.如权利要求1或6所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺， 其特征在于，所述用蚀刻机喷淋蚀刻经过八个喷淋室，每个喷淋室泵的压力 均为0.20～0.40Mpa。

8.如权利要求1所述减小腐蚀余量的栅网类金属件蚀刻生产工艺，其特 征在于，所述步骤(9)中，NaOH溶液的浓度为10～20％。