[发明专利]增强排气型复合分子泵

说明书

技术领域

本发明属抽真空技术领域，具体说是关于能够达到高真空，抽速很大并且体积很小的增 强排气型复合分子泵技术。

背景技术

当半导体产业出现后，要求分子泵能连续地大量排气和获得清洁的真空，经常需要涡轮 分子泵在1Pa以上工作，但涡轮分子泵恰好在这个压力范围内抽速下降很多。为了使泵能在 高压区域保持有较高的抽气能力，在原有的涡轮分子泵的高压侧配置了螺旋槽式牵引分子泵， 将两种泵的抽气单元串联组成一个整体，形成了一种宽域型的复合式分子泵。

以往在复合分子泵中的螺旋槽式牵引分子泵都是单级的，为了保证性能不变，要增大压 缩比，就要适当增加螺旋槽的高度，但在高速旋转的情况下会造成很大的变形，不符合小间 隙的要求。

另外，由于牵引分子泵抽速较小，使得气体不能及时排出，造成局部高压而使气体返流， 泵的抽气性能受到很大影响，实际抽速与理论抽速相差很大。现有真空泵技术的不能实现较 佳的排气效果。

发明内容

针对上述现有真空泵技术抽速低、排气效果不好的不足之处，本发明提供一种汇集涡轮 分子、螺旋槽牵引分子和盘式牵引分子的原理，达到具有大抽速、高真空能力和增强排气能 力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、造价低的优点。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：包括泵壳、泵座、光轴、定子和转子体， 所述的转子体由涡轮级转子和螺旋槽牵引分子级转子组成，所述的光轴与转子体连接，转子 体通过光轴与真空泵的主轴连接。转子体中涡轮级转子位于螺旋槽牵引分子级转子上方，螺 旋槽牵引分子级转子下方连有增强排气级转子，增强排气级转子为光板；涡轮级转子之间设 有定子叶片，螺旋槽牵引分子级转子之间设有定子，增强排气级转子两侧设有定子。在增强 排气级转子下部排气，排气道与排气口相连。

所述的涡轮级转子至少为一级，可以有多级存在，转子沿轴向排列，定子与转子相配套。

所述的螺旋槽牵引分子级转子至少为一级，可以有多级存在，定子与转子相配套，转子 由内向外沿径向排列。

所述的涡轮级转子与螺旋槽牵引分子级转子为一体或者分体。一体指的是涡轮级转子与螺 旋槽牵引分子级转子为一个转子体，分体指的是涡轮级转子与螺旋槽牵引分子级转子之间分 开，通过螺钉、铆钉等连接在一起。

所述的增强排气级转子是一级或多级串联起来的光板，增强排气级定子是螺旋形牵引风流 槽，其槽型是渐开线或阿基米德螺线形式。每两个增强排气级转子套筒壁内侧，设有与增强 排气级转子套筒壁相互插置的牵引套筒。与增强排气级转子套筒插置的牵引套筒，其内外壁 上设有螺旋肋筋，螺旋肋筋间构成牵引风流槽。

本发明通过转子由涡轮级转子、螺旋槽牵引分子级转子和增强排气级转子组成，增强排 气级转子是一级或多级串联起来的光板，增强排气级转子与定子相配合，将气体排出，以增 强排气，从而加大抽气效果。增强排气级定子是螺旋形牵引风流槽，其槽型是渐开线或阿基 米德螺线形式。本发明将盘式牵引分子泵的原理作为排气级，实现增强排气的作用；转子和 定子相互配合形成气道，使气体排出，由于加入了由增强排气级转子和定子构成的排气泵， 有效的将气体排除，效率高。

本发明的有益效果是：它汇集了拖动气体分子运动和涡轮分子的原理，通过巧妙的结构 设计达到具有大抽速、高真空能力和增大排气能力的复合分子泵，该泵具有效率高、体积小、 造价低的优点。

附图说明

图1为本发明一种实施例的总体结构示意图；

图2是本发明的一种实施例的转子体和增强排气级转子主视结构示意图；

图3是本发明的一种实施例的螺旋槽牵引分子级定子和增强排气级定子的结构示意图； 其中：1吸气口，2吸气口法兰，3转子体，4涡轮级定子叶片，5上轴承，6泵壳，7螺旋 槽牵引分子级定子，8水冷管，9增强排气级转子，10排气口法兰，11增强排气级定子，12 电机，13下轴承，14泵座，15油池。

具体实施方式

结合附图对本发明做进一步描述：