[发明专利]360kV高频高压倍加器均压结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种高频高压倍加器的均压结构，特别涉及一种应用于高能离子注入机中的360kv直流无油高压倍加器的均压结构。属半导体设备领域。

背景技术

集成电路制造技术的飞速发展，对各半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也提出了更高的要求，尤其是在束流指标、束能纯度、节深控制、注入均匀性与生产效率等方面均受到严峻挑战。

为了达到工艺要求的能量指标，特别是高能注入，我们为新研制的高能注入机设计了一种新型的360kv直流无油高压倍加器。这可以给加速管两级提供360kv的直流高压，使离子在加速场中获得足够的能量。这相较于之前200kv的倍加器设计，对倍加器空间电场的控制提出了更高的要求。在360kv空间电场下，不均匀的电场分布，会引起局部电场过高，击穿空气，引起放电打火。这种现象严重影响注入指标，损害设备寿命，在注入生产过程中是不能被允许的。所以我们针对360kv直流无油高压倍加器设计了这种9级均压结构。它可以均匀分布360kv的直流空间电场，有效抑制倍加器空间放电现象。

发明内容

为了解决上述存在的问题，本发明的目的是提供一种结构简单，安装方便的直流高压倍加器的均压结构。

本发明的技术方案是这样实现的，该均压结构，包括上金属圆盘，下金属圆盘，9级均压环，9对双球固定螺栓。其中高压倍加器的电路板两端分别固定在上下金属圆盘上，在上下金属圆盘之间均匀分布9级均压环，各均压环分别用绝缘绑固定在倍加器电路板上。在每级均压环正对倍压整流板的正中打螺孔，通过双球状固定栓固定引出引线接到倍压整流板上。

所述均压环采用纯铝材料，横截面为圆形，表面光滑平整无毛刺。

所述均压环上螺孔为穿孔，前后孔面为沉孔设计。

所述的双球状固定螺栓为：外侧球带栓穿过均压环，出头，内侧球打螺孔，压紧引线与外侧球连接固定。内外球表面光滑平整无毛刺，与均压环沉孔相切，平滑连接。

与之前采用的均压结构相比，本发明的有益效果是：

1、结构简单，装配方便。

2、能应用于360kv高压倍加器上，实现空间电场的分布均匀，有效抑制倍加器的空间放电现象，在大气中，可使倍加器可无影响输出360KV以上的高压。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细描述，但不作为对本发明的限定。

如图1-2所示，一种360kv无油直流高压倍加器的均压结构：

1.电路板支撑杆        6.双球状固定螺栓

2.倍加器功能电路板    7.倍压整流板

3.铝质均压环          8.上金属圆盘

4.绝缘绑带            9.下金属圆盘

5.连接导线

其中，倍加器功能电路板2通过电路板支撑杆1固定连接，倍加器功能电路板2和倍压整流板7两端分别用螺钉固定在上金属圆盘8和下金属圆盘9上。9级铝质均压环3在上金属圆盘8和下金属圆盘9之间均匀分布，通过绝缘绑带4固定在倍加器功能电路板2和倍压整流板7上。在每级铝质均压环3正对倍压整流板7的正中打螺孔，通过双球状固定螺栓栓6固定引出连接导线5接到倍压整流板7上。铝质均压环3和双球状固定螺栓6表面及连接处都保证光滑平整，无毛刺。

这样的无油直流高压倍加器的均压结构，能够保证360kv直流高压电场的均匀分布，有效抑制了高压倍加器的空间放电现象，可使倍加器稳定输出大于360kv的直流电压。并且本结构设计简单，装配方便。

本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。