[发明专利]流体设备和接头的连接结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种泵、阀、储液器(accumulator)等的流体设备和软管或配管等的接头的连接结构，详细地说，涉及一种通过使流体设备中的流体的供排路的周围部分和流体用的接头嵌合连接而将供排路和在上述接头上形成的流路连通并连接的流体设备和接头的连接结构。 

背景技术

例如，在输送半导体或液晶面板制造装置所使用的清洗用等药液的流体系统中，为了防止混入到清洗液或药液等流体路径的杂质侵入泵内部而成为故障或损伤的原因，多是在药液输送方向上在泵的上游一侧设置过滤器。 

作为这种现有例，公知涉及到在专利文献1(日本特开2006-49756号公报)中公开的药液供给系统。即，能够理解为在专利文献1的图1中，附图标记14表示的是过滤器，其在附图标记11表示的泵的药液流动方向上配置在上游一侧。 

如上述现有例那样，在流体供给系统中设置作为独立的设备的过滤器的情况下，存在需要过滤器的设置空间，与此相应，使装置大型化的问题，并且，还存在在由寿命等引起的更新时，多是过滤器成为组件交换，从而不能忽略对运行成本的影响的问题。 

另外，在流体的供给系统中，总是存在从连接部泄露的可能性，但在过滤器作为一个部件而存在的结构中，在其供排部分别需要与配管等的连接部，从而也存在由忘记施工等引起的可能从连接部泄漏的位置增加的问题。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种流体设备和接头的连接结构，其着眼于上述的药液供给系统等的流体系统或装置中的流体设备和接头的连接结构，通过重新对结构进行研究，在其连接部一体地配置过滤器等功能部件，从而能够将上述问题全部消除。

本发明的流体设备和接头的连接结构，通过使流体设备中的流体的供排路的周围部分和流体用的接头的一端嵌合连接，从而将所述供排路和在所述接头上形成的流路连通并连接，并且，所述接头的另一端与配管连接，其特征在于，使流经所述流体设备和所述接头的流体通过并对该流体进行作用的功能部件在被所述周围部分和所述接头双方密封的状态下并且在遍及到这些周围部分和接头的状态下被介入安装，在所述周围部分形成有内周面具有内螺纹的开口内周部，并且在所述周围部分形成有向所述开口内周部开口的环状槽，在所述接头的所述流体设备侧的外周形成有与所述开口内周部的所述内周面的所述内螺纹相螺合的外螺纹，从所述接头的形成有外螺纹的部分沿着所述流路的方向突出有环状突起，通过使所述接头的所述外螺纹和所述开口内周部的所述内螺纹相螺合，所述环状槽和所述环状突起相互嵌合而构成密封部，在所述接头的外周呈齿轮状地形成有卡合凹部，通过在这些卡合凹部中的任一个卡合凹部与形成在所述周围部分的螺母部对合的状态下螺接螺栓，从而使所述接头止转。 

本发明的流体设备和接头的连接结构，其特征在于，在所述环状突起的内周面和所述环状槽的外周面、以及所述环状突起的外周面和所述环状槽的内周面分别处于过盈配合的状态下，压入所述环状突起和所述环状槽，并且，设定所述环状突起的内周面和所述环状槽的外周面的过盈量大于所述环状突起的外周面和所述环状槽的内周面的过盈量。 

本发明的流体设备和接头的连接结构，其特征在于，所述功能部件构成为环状部件，所述功能部件被压接夹持于在所述周围部分形成的环状端壁和在所述接头上形成的环状端壁之间。 

本发明的流体设备和接头的连接结构，其特征在于，在所述流体设备和所述接头嵌合连接时，在所述周围部分形成的所述环状端壁和所述功能部件相凹凸嵌合，以限制在所述周围部分形成的所述环状端壁向径内侧倾倒。 

本发明的流体设备和接头的连接结构，其特征在于，所述功能部件构成为过滤器，所述过滤器包括安装在所述两环状端壁之间的环状框架和被该环状框架支撑并位于其径内侧的筛眼构件。 

根据本发明的流体设备和接头的连接结构，若组装流体设备和接头，则由于在该连接结构部位的流路部分上在密封状态下一体地组装功能部件，因 此无需功能部件专用的设置空间。因此，消除设置需要功能部件的设置空间而相应地使装置大型化这种作为独立的设备的功能部件时的缺陷(现有的缺陷)。并且，因为是功能部件遍及到流体设备和接头而被介入安装的结构，所以在因寿命等而要更换时，仅更换功能部件即可，与成为不能够分解地一体地组装功能部件的流体设备(例如，过滤装置)的组件交换的以往情况相比，能够降低成本(运行成本)。