[发明专利]振动的光学量测方法及光学量测系统

权利要求书

1.一种振动的光学量测方法，其特征在于：

该振动的光学量测方法包含

一光学量测系统架设步骤，设置一组光学量测系统，该光学量测系统包含一发出预定波域的光的光源、一供该光源发出且未被移频的光行进的第一光路径，一供该光源发出且被移频的光行进的第二光路径，及一位于该第二光路径终端的光接收处理装置的光学量测系统；

一待测物设置步骤，将待测物置于该第一光路径终端；

一照光步骤，使该光源发光并对发出的光分光移频，其中，未被移频的光沿该第一光路径行进，且被移频的光沿该第二光路径行进；

一干涉发生步骤，让沿该第一光路径行进的光接触待测物并反射，且在接触待测物并反射的过程中被待测物的振动作用而移频，之后转进至该第二光路径行进而与原本在该第二光路径上行进的光彼此作用而产生一干涉光；及

一接收处理步骤，令该光接收处理装置接收该干涉光，并自该干涉光配合该光源发出的光与对该光源移频时输入的资料，计算得到待测物振动的频率。

2.如权利要求1所述振动的光学量测方法，其特征在于：该光学量测系统架设步骤所设置的该光学量测系统，还包含一临靠该光源地设置于该第一光路径上的声光调制器，及一可将预定波长输入至该声光调制器的声波输入器，且当该声波输入器输入预定波长的声波时，该声光调制器对该光源发出的光分光移频。

3.如权利要求2所述振动的光学量测方法，其特征在于：该光学量测系统架设步骤所设置的该光学量测系统，还包含一设置于该第一光路径上并位于该声光调制器与待测物之间的一极化分光镜，与一1/4波板，而使循该第一光路径并朝向该待测物行进的光依序通过该极化分光镜与该1/4波板后成一线性右旋光接触该待测物。

4.如权利要求3所述振动的光学量测方法，其特征在于：该光学量测系统架设步骤所设置的该光学量测系统，还包含一设置于该第二光路径上并位于该声光调制器与该光接收处理装置之间的一棱镜、一1/2波板、一分光镜，与一偏极片，而使循该第二光路径并朝向该光接收处理装置行进的光依序通过该棱镜与1/2波板后成一线性偏振光再依序通过该分光镜与偏极片。

5.如权利要求4所述振动的光学量测方法，其特征在于：该线性右旋光被该待测物反射循该第一光路径并朝向该光源方向行进而依序通过该1/4波板与该极化分光镜后成一线性左旋光并转进至该第二光路径上行进，且在通过该分光镜与该偏极片后与通过该分光镜与偏极片的该线性偏振光作用而产生该干涉光。

6.如权利要求1或4所述振动的光学量测方法，其特征在于：该光学量测系统架设步骤所设置的该光学量测系统的光接收处理装置是一可取像的电荷耦合元件摄像机，及一可撷取该电荷耦合元件摄像机取得的影像并进行运算处理与观看的计算器。

7.一种振动的光学量测系统，其特征在于：

该振动的光学量测系统包含

一光源，发出预定波域的光；

一第一光路径，终端对应位于待测物上；

一第二光路径，与该第一光路径具有介于该光源与该第一光路径终端之间的一第一交会点与一第二交会点；

一第一光学组件，设在该第一光路径上并位于该光源与该第一光路径终端之间，将该光源发出的光分光移频，并使未被移频的光循该第一光路径行进，被移频的光自该第一交会点转循该第二光路径行进；

一第二光学组件，设在该第一光路径上并位于该第一交会点与该第一光路径终端之间，而使光通过后改变形式成线性光；

一第三光学组件，设在该第二光路径上并位于该第一交会点与该第二光路径终端之间，并涵盖该第二交会点，使光通过后改变形式成线性光，且让原本被移频而自该第一交会点转循该第二光路径行进且通过该第三光组件的光，与原本未被移频而循第一光路径行进且自该第二交会点转进至该第二光路径行进且通过该第三光学组件的光彼此相干涉，且继续循该第二光路径向该第二光路径终端行进；及

一光接收处理装置，设在该第二光路径终端以接收光，并以该光源发出的光与该第一光学组件分光移频的资料运算处理接收到的光。

8.如权利要求7所述振动的光学量测系统，其特征在于：该第一光学组件包括一设在该第一交会点上的声光调制器，及一可将预定波长输入至该声光调制器的声波输入器，且当该声波输入器输入预定波长的声波时，该声光调制器对该光源发出的光分光移频。