[发明专利]基板处理装置和涂敷装置以及涂敷方法

说明书

技术领域

本发明涉及悬浮搬送方式的基板处理装置，特别涉及使被处理基板在载物台上悬浮地进行搬送，并在基板上涂敷处理液的涂敷装置和涂敷方法。

背景技术

在LCD等平板显示器(FPD)的制造工艺的光刻工序中，大多使用将具有隙状的排出口的长条形的抗蚀剂喷嘴相对扫描并在被处理基板上涂敷抗蚀剂液的无旋转的涂敷方法。

作为这样的无旋转的涂敷方法的一种形式，共知有如下的悬浮搬送方式，例如如专利文献1所公开那样，用于支持FPD用的矩形的被处理基板(例如玻璃基板)的载物台构成为悬浮式，在悬浮载物台上使基板保持浮在空中的状态向水平的一个方向(载物台的长度方向)搬送，在搬送途中的规定位置上设置于悬浮载物台上方的长条形的抗蚀剂喷嘴朝向通过其正下方的基板带状地排出抗蚀剂液，由此，从基板上的一端至另一端涂敷抗蚀剂液。

此外，在这样的悬浮搬送方式中，公知有如下的无旋转的涂敷方法，例如如专利文献2所公开那样，在悬浮载物台上，第一搬送部保持基板的左右一方的侧面边缘部位从搬入位置经过涂敷位置将基板搬送到设置于涂敷位置与搬出位置之间的第一位置，第二搬送部保持基板的左右另一方的侧面边缘部分，将基板从设置在与搬入位置之间的第二位置经过涂敷位置搬送到搬出位置，由此，可以缩短节拍时间(tacttime)。

现有的此类抗蚀剂涂敷装置，为了在悬浮式的载物台上对基板进行悬浮搬送，而具备配置在载物台的左右两侧的一对导轨、沿着该导轨直线移动的左右一对的滑块、在基板的左右两边部分以一定间隔可装卸地进行吸附的的左右一列的吸附垫、使该左右一列的吸附垫分别与左右的滑块连接并且随着基板的悬浮高度上下改位移置的板簧等连接部件。

悬浮搬送式的现有的抗蚀剂涂敷方法，如上所述，通过悬浮载物台给予基板的气体压力对基板的悬浮高度进行可变控制，令保持基板的一列吸附垫乃至连接部材随着基板的悬浮高度上下改位移置。但是，悬浮搬送中基板的前端部和后端部上下振动抖动，或者基板在与搬送方向正交的方向弯曲成山形的时候，保持基板的吸附垫和连接部件也随着基板一起振动或上下改位移置，不能将基板保持或者矫正为适合涂敷处理的一定的姿势，使抗蚀剂涂敷膜的膜厚度发生改变，容易产生涂敷斑。

专利文献1：日本特开2005-244155

专利文献2：日本特开2006-237482

发明内容

本发明鉴于上述以往技术的问题，其目的在于，提供一种基板处理装置，其能够在悬浮载物台上将矩形的被处理基板以简易的结构保持为适合处理的一定的姿势并稳定地进行悬浮搬送。

本发明的另一个目的在于，提供一种悬浮搬送方式的涂敷装置和涂敷方法，其着眼于对保持矩形的被处理基板的机构进行改善从而提高涂敷品质和缩短生产节拍时间。

为了达成上述目的，本发明的基板处理装置具有：载物台，以气体的压力使矩形的被处理基板悬浮；以及搬送部，其具有可离合地保持悬浮在所述载物台上的状态的所述基板的保持部，并为了在所述载物台上在规定的搬送方向悬浮搬送所述基板，而使所述基板与所述保持部一体地在所述搬送方向移动，所述保持部具有局部保持相对于所述基板的搬送方向在左右一侧的两个角落的、实际上不弯曲的保持部件；和用于使所述保持部件升降移动或者位移的升降部。

在上述结构中，由于搬送部中具备的保持部或者保持部件对基板的左右一侧的两个角落实际上不弯曲地进行保持，搬送部在载物台上对矩形的基板进行悬浮搬送的时候，即使由载物台一侧所受的悬浮压力出现变化，也能够通过保持部或者保持部件的刚性的保持力或者拘束力对基板的前端部或者后端部的抖动进行抑制，基板在与搬送方向正交的方向弯曲成山形的情况下，也能够通过保持部的刚性的保持力或者拘束力将基板在同方向进行水平矫正。