[发明专利]一种提高陶瓷热障涂层隔热性能的后处理方法

权利要求书

1.一种提高陶瓷热障涂层隔热性能的后处理方法，其特征在于，包括以 下步骤：

a、采用薄膜制备工艺，在陶瓷热障面层上沉积一层铝薄膜；

b、在真空炉中，对覆盖有铝薄膜的陶瓷热障涂层工件进行扩散加热，工 艺条件是：真空度10^-2～10^-3Pa，温度450～610℃，保温时间40～90分钟，随 炉冷却至室温；

c、将铝扩散后的陶瓷热障涂层工件置于电阻炉中，在空气中于600～900℃ 对陶瓷热障涂层中的扩散铝进行氧化，时间2～4小时，在涂层孔隙和裂纹中 形成氧化铝。

2.如权利要求1所述提高陶瓷热障涂层隔热性能的后处理方法，其特征 在于，所述薄膜制备工艺包括采用磁控溅射、真空蒸发的方法。

3.如权利要求1所述提高陶瓷热障涂层隔热性能的后处理方法，其特征 在于，所述步骤a铝薄膜的沉积厚度是10～50nm。

4.如权利要求2所述提高陶瓷热障涂层隔热性能的后处理方法，其特征 在于，所述磁控溅射工艺条件为，纯度99.99％以上的铝靶，靶与工件涂层距 离50mm，直流电源，电流0.1A，工作气体Ar气，压力0.4Pa，流速28SCCM。

5.如权利要求2所述提高陶瓷热障涂层隔热性能的后处理方法，其特征 于，所述真空蒸发工艺条件为：真空度7×10^-2Pa，钨电阻加热蒸发源，加热 温度1250℃，原料99.99％以上高纯铝。