[发明专利]组合物、干膜、固化物和印刷线路板

权利要求书

1.一种组合物，其特征在于，其为干燥涂膜形成后通过将 多个激光二极管捆绑来制成曝光光源的激光振荡波长具有 400～410nm的分布的激光振荡光源进行激光曝光的、含有(A) 含羧酸树脂、(B)光聚合引发剂以及(C)着色剂的组合物， 其中，将波长400nm的吸光度设为L400、将波长410nm的吸光 度设为L410时，曝光前干燥涂膜厚25μm时，吸光度L400为0.5 -1.2、吸光度L410为0.01-0.5，并且，吸光度L400＞吸光度 L410，前述(B)光聚合引发剂为选自下述通式(I)所示的肟 酯系光聚合引发剂、下述通式(II)所示的氨基苯乙酮系光聚 合引发剂、下述通式(III)所示的酰基氧化膦系光聚合引发剂 以及下述通式(IV)所示的茂钛系光聚合引发剂所组成的组中 的1种以上光聚合引发剂，并且前述(B)光聚合引发剂的配合 量相对于100质量份前述(A)含羧酸树脂为0.01～30质量份，前 述(C)着色剂的配合量相对于100质量份前述含羧酸树脂为 0.01～5质量份，

[化学式1]

式中，R¹表示氢原子、碳原子数1～7的烷基或苯基，R²表 示碳原子数1～7的烷基或苯基；R³、R⁴表示碳原子数1～12的烷 基或芳基烷基，R⁵、R⁶表示氢原子、碳原子数1～6的烷基或两 者结合而成的环状烷基；R⁷、R⁸表示碳原子数1～6的直链状或 支链状的烷基、烷氧基、环己基、环戊基、芳基、或被卤原子、 烷基或烷氧基取代的芳基、或任一个为碳原子数1～20的羰基； R⁹、R¹⁰表示卤原子、芳基、卤化芳基、含有杂环的卤化芳基。

2.根据权利要求1所述的组合物，其为抗蚀剂组合物。

3.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，将波长 405nm的吸光度设为L405时，曝光前干燥涂膜厚25μm时，吸光 度L405为0.3-0.9，且吸光度L400＞吸光度L405＞吸光度L410。

4.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，曝光前干 燥涂膜厚25μm时，吸光度L400与吸光度L410之差(L400- L410)为0.1～0.5的范围内。

5.根据权利要求1所述的组合物，前述(A)含羧酸树脂 的酸值为40～200mgKOH/g的范围、重均分子量为2000～150000。

6.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，前述通式 (I)所示的肟酯系光聚合引发剂(B1)为下述式(V)所示的 肟酯系光聚合引发剂。

[化学式2]

7.根据权利要求1所述的组合物，其特征在于，着色剂(C) 为酞菁蓝。

8.根据权利要求1所述的组合物，还含有(D)敏化剂。

9.根据权利要求8所述的组合物，其特征在于，(D)敏化 剂为噻吨酮系和/或具有二烷基氨基苯结构的化合物。

10.根据权利要求9所述的组合物，其特征在于，前述具有 二烷基氨基苯结构的化合物为二烷基氨基二苯甲酮或香豆素化 合物。

11.一种光固化性热固化性的干膜，其将权利要求1～10 任一项所述的组合物涂布到载体膜并干燥而得到。

12.一种固化物，其将前述权利要求1～10任一项所述的光 固化性热固化性树脂组合物或在载体膜上涂布该组合物并使其 干燥而得到的光固化性热固化性的干膜在铜上光固化而得到。

13.一种固化物，其通过波长为400～410nm的激光，将前 述权利要求1～10任一项所述的光固化性热固化性树脂组合物 或在载体膜上涂布该组合物并使其干燥而得到的光固化性热固 化性的干膜光固化而得到。