[发明专利]气密容器和使用气密容器的成像设备的制造方法

权利要求书

1.一种气密容器的制造方法，包括：

接合材料布置步骤，即将第一接合材料和对压力的可压缩性大于第一接合材料的可压缩性的第二接合材料布置在形成气密容器的第一和第二部件的彼此相对设置的表面中的一个上，使得第二接合材料沿着环形路线布置在第一和第二部件的彼此相对设置的表面中的所述一个上，所述第一和第二接合材料设置成并排的关系，并且第一接合材料的高度低于第二接合材料的高度；

挤压步骤，即通过第一和第二部件的彼此相对设置的表面中的另一个挤压第一和第二接合材料，使得第一和第二接合材料两者接触第一和第二部件的彼此相对设置的表面中的所述另一个；

加热步骤，即一部分一部分顺序地加热并熔化与第一和第二部件的彼此相对设置的表面中的所述另一个接触的第一接合材料；以及

冷却步骤，即冷却所述第一接合材料的熔化的部分。

2.根据权利要求1的气密容器的制造方法，其中

所述加热步骤包括同时加热并熔化所述第一接合材料的多个部分。

3.根据权利要求1或2的气密容器的制造方法，其中

所述加热步骤包括通过在从第一接合材料的一个位置到另一个位置改变加热部分的同时多次加热，加热并熔化所有的所述第一接合材料。

4.根据权利要求3的气密容器的制造方法，其中

所述加热步骤包括局部加热第一接合材料。

5.根据权利要求1的气密容器的制造方法，其中

所述加热步骤包括通过沿着第一接合材料对加热位置扫描来相继加热并熔化所述第一接合材料。

6.根据权利要求1、2和5其中任何一项的气密容器的制造方法，其中所述加热步骤包括局部加热所述第一接合材料。

7.根据权利要求6的气密容器的制造方法，其中所述局部加热用激光进行。

8.根据权利要求6的气密容器的制造方法，其中所述局部加热用卤素灯的光辐照进行。

9.根据权利要求8的气密容器的制造方法，其中

所述第一和第二部件由玻璃形成，并且

所述第一接合材料由金属或玻璃熔料形成。

10.根据权利要求9的气密容器的制造方法，其中

在接合材料布置步骤中，使用以片状形状烘干的玻璃熔料作为第一接合材料。

11.根据权利要求9的气密容器的制造方法，其中

在接合材料布置步骤中，使用片状的铝作为第一接合材料。

12.一种成像设备的制造方法，所述成像设备包括电子发射装置和设置在一气密容器内的成像部件，其中所述气密容器根据权利要求1、2、5、7至11中任何一项的方法制造。

13.一种成像设备的制造方法，所述成像设备包括电子发射装置和设置在一气密容器内的成像部件，其中所述气密容器根据权利要求6的方法制造。

14.一种成像设备的制造方法，所述成像设备包括电子发射装置和设置在一气密容器内的成像部件，其中所述气密容器根据权利要求3的方法制造。