[发明专利]单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，其特征在于：包括：设于单晶炉的坩埚支持器(14)下方和单晶炉底部的排气口(9)之间的气流导向装置(2)；

该气流导向装置(2)为由石墨制成的碗形，其包括：设于气流导向装置(2)底部中央的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电极孔(2-2)、设于所述中轴孔(2-1)两侧并与单晶炉的排气口(9)相对的通气孔(2-3)；单晶炉的石墨中轴(11)穿过所述气流导向装置(2)的中轴孔(2-1)，单晶炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2)，单晶炉的排气口(9)与气流导向装置(2)的各通气孔(2-3)相连通，气流导向装置(2)的上端部(2-4)设于单晶炉的保温筒(17)与发热体(7)之间。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于：所述气流导向装置(2)的中轴孔(2-1)与单晶炉的石墨中轴(11)活动密封连接。

3.根据权利要求1或2所述的单晶炉，其特征在于：所述气流导向装置(2)的电极孔(2-2)分别与单晶炉的电极柱(15)密封连接。

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于：所述气流导向装置(2)的上端部(2-4)的外壁与单晶炉的保温筒(17)密封连接。

5.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于：所述气流导向装置(2)各通气孔(2-3)与单晶炉的排气口(9)通过通气管(19)相连通。