[发明专利]一种低电压液相电沉积制备类金刚石薄膜的方法无效
| 申请号: | 200810103011.7 | 申请日: | 2008-03-28 |
| 公开(公告)号: | CN101381882A | 公开(公告)日: | 2009-03-11 |
| 发明(设计)人: | 杨文胜;王毅;陈晨 | 申请(专利权)人: | 北京化工大学 |
| 主分类号: | C25D9/08 | 分类号: | C25D9/08 |
| 代理公司: | 北京华谊知识产权代理有限公司 | 代理人: | 刘月娥 |
| 地址: | 100029北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电压 液相电 沉积 制备 金刚石 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种低电压液相电沉积制备类金刚石薄膜的方法,其特征在于,工艺步骤为:
以预先清洗干净的氧化铟锡导电玻璃为阴极,铂片电极为阳极,甲酰胺为电解液,在10~40℃条件下,在阴阳两电极之间施加3~30V的直流电压1~30分钟,在氧化铟锡导电玻璃阴极上沉积出类金刚石薄膜;
阴阳两电极之间的距离为10~30毫米。
2.按照权利要求1所述的方法,其特征在于,氧化铟锡导电玻璃经下列步骤清洗干净:将氧化铟锡导电玻璃依次用丙酮、无水乙醇、蒸馏水各超声清洗10~30分钟后,用N2吹干。
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