[发明专利]废气处理系统及处理方法

权利要求书

1.一种废气处理系统，包括：

炉体，具有炉壁和顶盖，且定义炉室；

燃料，置于该炉室中，且所述燃料中有供气体流过的间隙；

空气进口，设置于该炉体下部；

出气口，设置于该炉体上部；以及

废气进口，其中待处理的废气从该废气进口进入炉室，且流经燃烧的燃 料之间的间隙；

其中该废气进口设置于炉体上部与该出气口相对的一侧，且在该废气进 口与该出气口之间在该顶盖上形成有分隔构件，从而该废气进口与该出气口 被该分隔构件以及所述燃料分隔开。

2.根据权利要求1所述的废气处理系统，其中该废气进口设置于炉体 下部与该空气进口不同的位置处。

3.根据权利要求1所述的废气处理系统，还包括设置于所述炉体底部 的燃料灰收集和排出装置。

4.根据权利要求1所述的废气处理系统，其中所述燃料包括适当大小 的煤块、蜂窝煤、以及中间打孔的煤饼中的一种或多种。

5.根据权利要求1所述的废气处理系统，其中所述废气包括H₂、含 硅气体、含硼气体、以及含磷气体中的一种或多种。

6.根据权利要求5所述的废气处理系统，其中所述含硅气体包括SiH₄、 Si₂H₆、SiF₄、SiH₃Cl、以及SiH₂Cl₂。

7.一种组合式废气处理系统，包括串联和/或并联连接的多个权利要求 1所述的废气处理系统。

8.一种废气处理方法，其包括使用一个或多个权利要求1所述的废气 处理系统。

9.根据权利要求8所述的废气处理方法，其中使用多个权利要求1所 述的废气处理系统，且所述多个废气处理系统被串联和/或并联以形成组合式 废气处理系统。