[发明专利]半导体测试装置有效
| 申请号: | 200810091140.9 | 申请日: | 2008-04-07 |
| 公开(公告)号: | CN101285870A | 公开(公告)日: | 2008-10-15 |
| 发明(设计)人: | 古田光弘;平尾左知子 | 申请(专利权)人: | 横河电机株式会社 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 测试 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体测试装置,采用一将装载在胶带上的IC晶片输送到测试头的测定位置而进行IC晶片的测试的TAB用自动处理机;
其特征为:
该TAB用自动处理机配置成使得装载有IC晶片的胶带沿铅直方向行进;且
该测试头沿铅直方向配置,使测定位置与胶带相向。
2.如权利要求1所述的半导体测试装置,其中,该测试头装载在升降机。
3.如权利要求1所述的半导体测试装置,其中,该测试头包含一高度调整机构。
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