[发明专利]布线板和制造布线板的方法无效

专利信息
申请号: 200810090641.5 申请日: 2008-04-02
公开(公告)号: CN101282620A 公开(公告)日: 2008-10-08
发明(设计)人: 山崎智生 申请(专利权)人: 新光电气工业株式会社
主分类号: H05K3/38 分类号: H05K3/38;H05K3/18;H01L23/498;H01L21/48
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 陈源;张天舒
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 布线 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种布线板,该布线板包括:

树脂绝缘层;

Ni-Cu合金粘合种子层,其由质量占20%至75%的Ni和占余下比例的Cu在所述树脂绝缘层上形成;以及

在所述Ni-Cu合金粘合种子层上形成的由Cu组成的Cu布线层。

2.一种制造根据权利要求1的布线板的方法,该方法包括以下步骤:

在树脂绝缘层上将要形成布线层的区域的整个表面上形成Ni-Cu合金粘合种子层;

在所述粘合种子层上形成电镀抗蚀图形;

通过将所述粘合种子层用作馈电层,在所述电镀抗蚀图形的开口部分通过电解电镀形成Cu布线层;

去除所述电镀抗蚀图形;以及

去除在去除所述电镀抗蚀图形时暴露的部分中的粘合种子层。

3.一种制造根据权利要求1的布线板的方法,该方法包括以下步骤:

在树脂绝缘层上将要形成布线层的区域的整个表面上形成Ni-Cu合金粘合种子层;

在所述粘合种子层的整个表面上形成Cu布线层;

在所述Cu布线层上形成抗蚀图形;

将所述抗蚀图形用作掩模,通过蚀刻所述Cu布线层和其下的粘合种子层一次性形成具有图形的布线层;以及

去除所述抗蚀图形。

4.一种布线板,该布线板具有树脂绝缘层和在其上形成的布线层,其中

布线层由质量占20%至75%的Ni和占余下比例的Cu所组成的Ni-Cu合金在整个布线层的厚度上形成。

5.一种制造根据权利要求3的布线板的方法,该方法包括以下

步骤:

在树脂绝缘层上将要形成布线层的区域的整个表面上形成Ni-Cu合金金属层;

在所述金属层上形成抗蚀图形;

将抗蚀图形用作掩模,通过蚀刻形成所述Ni-Cu合金金属层图形从而形成所述布线层;以及

去除所述抗蚀图形。

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