[发明专利]布线板和制造布线板的方法无效
| 申请号: | 200810090641.5 | 申请日: | 2008-04-02 |
| 公开(公告)号: | CN101282620A | 公开(公告)日: | 2008-10-08 |
| 发明(设计)人: | 山崎智生 | 申请(专利权)人: | 新光电气工业株式会社 |
| 主分类号: | H05K3/38 | 分类号: | H05K3/38;H05K3/18;H01L23/498;H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈源;张天舒 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 布线 制造 方法 | ||
1.一种布线板,该布线板包括:
树脂绝缘层;
Ni-Cu合金粘合种子层,其由质量占20%至75%的Ni和占余下比例的Cu在所述树脂绝缘层上形成;以及
在所述Ni-Cu合金粘合种子层上形成的由Cu组成的Cu布线层。
2.一种制造根据权利要求1的布线板的方法,该方法包括以下步骤:
在树脂绝缘层上将要形成布线层的区域的整个表面上形成Ni-Cu合金粘合种子层;
在所述粘合种子层上形成电镀抗蚀图形;
通过将所述粘合种子层用作馈电层,在所述电镀抗蚀图形的开口部分通过电解电镀形成Cu布线层;
去除所述电镀抗蚀图形;以及
去除在去除所述电镀抗蚀图形时暴露的部分中的粘合种子层。
3.一种制造根据权利要求1的布线板的方法,该方法包括以下步骤:
在树脂绝缘层上将要形成布线层的区域的整个表面上形成Ni-Cu合金粘合种子层;
在所述粘合种子层的整个表面上形成Cu布线层;
在所述Cu布线层上形成抗蚀图形;
将所述抗蚀图形用作掩模,通过蚀刻所述Cu布线层和其下的粘合种子层一次性形成具有图形的布线层;以及
去除所述抗蚀图形。
4.一种布线板,该布线板具有树脂绝缘层和在其上形成的布线层,其中
布线层由质量占20%至75%的Ni和占余下比例的Cu所组成的Ni-Cu合金在整个布线层的厚度上形成。
5.一种制造根据权利要求3的布线板的方法,该方法包括以下
步骤:
在树脂绝缘层上将要形成布线层的区域的整个表面上形成Ni-Cu合金金属层;
在所述金属层上形成抗蚀图形;
将抗蚀图形用作掩模,通过蚀刻形成所述Ni-Cu合金金属层图形从而形成所述布线层;以及
去除所述抗蚀图形。
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