[发明专利]用于形成隐蔽布线的方法及采用其的衬底和显示装置

权利要求书

1.一种形成隐蔽布线的方法，所述方法包括以下步骤：

在绝缘板的表面上形成具有与所需的布线图案对应的开口的掩模；

使用所述掩模选择性地蚀刻所述绝缘板的表面，由此在绝缘板的表面中形成具有与布线图案对应的预期形状的沟槽；

以所述沟槽填充以金属纳米颗粒墨的方式、将金属纳米颗粒墨置于所述绝缘板的整个表面上，同时留下所述掩模；

加热金属纳米颗粒墨以对其进行初步固化，以形成金属纳米颗粒墨膜；

通过分离掩模选择性地去除置于所述掩模上的金属纳米颗粒墨膜的一部分，由此选择性地将金属纳米颗粒墨膜的剩余部分保留在沟槽中；以及

加热保留在沟槽中的金属纳米颗粒墨膜的剩余部分，以对其进行主固化，由此形成所需的隐蔽布线。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在选择性地蚀刻绝缘板的表面以形成沟槽的步骤和将金属纳米颗粒墨置于绝缘板的整个表面上以将所述沟槽以金属纳米颗粒墨填充的步骤之间，执行给予所述沟槽吸墨性的步骤，以增加所述沟槽内表面的表面能。

3.根据权利要求2所述的方法，其中在给予沟槽吸墨性的步骤中，采用将绝缘板暴露给等离子体的等离子体工艺，或者采用将紫外光辐射到绝缘板的紫外工艺。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述沟槽的内表面的表面能高于金属纳米颗粒墨的表面张力。

5.根据权利要求1所述的方法，其中金属纳米颗粒墨的金属纳米颗粒具有在从1纳米至100纳米范围内的平均直径。

6.一种用于显示装置的衬底，所述衬底包括：

绝缘板，所述绝缘板具有在所述绝缘板的表面中形成的沟槽；以及

隐蔽布线，所述隐蔽布线在所述绝缘板的沟槽中形成，

其中所述隐蔽布线由经过固化的金属纳米颗粒制成。

7.一种显示装置，所述显示装置包括：

根据权利要求6所述的、用于显示装置的衬底。