[发明专利]感光性层叠体制造装置和制造方法

权利要求书

1.一种感光性层叠体制造装置，其在衬底(24)上贴附形成在支承体(26)上的感光材料层(28)后，剥离所述支承体(26)，制造感光性层叠体(92)，所述感光性层叠体制造装置的特征在于，包括：

一对载置台(100a、100b)，其相对配置，在载置面载置被剥离的所述支承体(26)；

载置台移动机构(112a、112b)，其使所述一对载置台(100a、100b)移动而分开；

载置台倾斜机构(116a～116d)，其使所述一对载置台(100a、100b)的接近的各端部侧向下方倾斜；

支承体收容部(102)，其配置在所述一对载置台(100a、100b)的下部，收容从通过所述载置台移动机构(112a、112b)而分开的所述一对载置台(100a、100b)之间落下的所述支承体(26)。

2.根据权利要求1所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于，

具有支承体剥离机构(98a、98b)，所述支承体剥离机构(98a、98b)把持所述支承体(26)的端部，沿着所述一对载置台(100a、100b)的载置面剥离所述支承体(26)。

3.根据权利要求1所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于，

所述一对载置台(100a、100b)具有使所述载置面向使它们接近的方向移动的载置面移动机构(104a～104d、106a～106d)。

4.根据权利要求1所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于，

所述支承体收容部(102)通过层叠所述支承体(26)的底面相对于与所述一对载置台(100a、100b)分开的方向正交的方向倾斜而构成。

5.根据权利要求1所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于，

所述支承体收容部(102)包括：

收容状态检测机构(122、124)，其检测被收容的所述支承体(26)的收容状态；

底面下降机构(120)，其按照由所述收容状态检测机构(122、124)检测到的所述收容状态，使层叠所述支承体(26)的底面下降。

6.根据权利要求5所述的感光性层叠体制造装置，其特征在于，

所述收容状态检测机构(122、124)由配置在所述支承体收容部(102)的开口部的发光元件(122)和受光元件(124)构成，按照所述发光元件(122)和所述受光元件(124)之间所述支承体(26)的有无，检测所述支承体(26)的收容状态。

7.一种感光性层叠体制造方法，其在衬底(24)上贴附形成在支承体(26)上的感光材料层(28)后，剥离所述支承体(26)，制造感光性层叠体(92)，所述感光性层叠体制造方法的特征在于，包括：

在相对配置的一对载置台(100a、100b)的载置面上载置被剥离的所述支承体(26)的步骤；

使载置有所述支承体(26)的所述一对载置台(100a、100b)分开，并且使所述一对载置台(100a、100b)的接近的各端部侧向下方倾斜的步骤；

从分开的所述一对载置台(100a、100b)之间，使所述支承体(26)落下到配置在所述一对载置台(100a、100b)的下部的支承体收容部(102)中而收容的步骤。

8.根据权利要求7所述的感光性层叠体制造方法，其特征在于，

所述支承体(26)沿着所述一对载置台(100a、100b)的载置面被剥离而载置。

9.根据权利要求7所述的感光性层叠体制造方法，其特征在于，

使载置有所述支承体(26)的所述一对载置台(100a、100b)分开，并且使所述一对载置台(100a、100b)的所述载置面向使它们接近的方向移动。

10.根据权利要求7所述的感光性层叠体制造方法，其特征在于，包含：

检测收容在所述支承体收容部(102)中的所述支承体(26)的收容状态的步骤；

按照所述收容状态，使层叠所述支承体(26)的所述支承体收容部(102)的底面下降的步骤。