[发明专利]三氯氢硅生产中尾气的回收利用方法有效
| 申请号： | 200810044477.4 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN101569817A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 侯于先;罗秋生;刘忠文;许峰 | 申请（专利权）人： | 中蓝晨光化工研究院有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/14 | 分类号： | B01D53/14;B01D61/00;C01B33/107;B01D3/14 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 赵 丽 |
| 地址： | 610041四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 生产 尾气 回收 利用 方法 | ||
1.一种三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：
A、初步吸收处理：将流化床反应器生产过程中合成工段的合成尾气，包括HCl、H2、SiHCl3、SiCl4、N2送入一级吸收塔，吸收液为SiCl4经冷凝后从塔顶送入，SiCl4液体与从塔底部上升的合成尾气在塔内充分接触，除去尾气中的大部分SiHCl3气体；
B、重吸收处理：将从一级吸收塔塔顶出来的尾气，包括HCl、H2、残余SiHCl3、残余SiCl4、N2送入二级吸收塔，二级吸收塔采用稀盐酸作吸收液吸收气体中的HCl气体形成浓盐酸，同时，气体中残留的SiCl4、SiHCl3和水反应生成HCl和SiO2，生成的HCl气体被吸收成浓盐酸，SiO2移出吸收塔去三废回收，未被吸收的剩余N2和H2从塔顶排出；
C、氢气膜分离：从二级吸收塔塔顶出来的氢气和氮气进入氢气膜分离器，膜分离器的非渗透气N2放空，氢气则返回氯化氢合成炉回收利用；
D、解析：将二级吸收塔底出来的浓盐酸送往解析塔进行解析，解析塔采用蒸汽加热，从解析塔顶部出来的氯化氢气体作为原料送往三氯氢硅合成工段，塔釜出来的稀盐酸则用作二级吸收塔的吸收液。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法，其特征在于：所述“A、初步吸收处理”步骤中的大部分SiHCl3被SiCl4吸收后从塔釜排出，送到精馏工段精馏后成为产品。
3.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法，其特征在于：所述步骤A中合成尾气在进入一级吸收塔之前先冷凝至-15℃。
4.根据权利要求1所述的三氯氢硅生产过程中尾气的回收利用方法，其特征在于：所述步骤C中从二级吸收塔塔顶出来的氢气和氮气先经过出口压力为0.65Mpa的压缩机压缩后再进入氢气膜分离器。
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