[发明专利]裸晶测试机台用缓冲分类装置及该机台

说明书

技术领域

本发明涉及一种裸晶测试机台用缓冲分类装置；本发明还涉及具有该缓冲分类装置的裸晶测试机台。

背景技术

半导体组件经历晶圆阶段(Wafer)制程后，逐一分割，于未进入封装阶段(Package)制程前，为裸晶(Bare die or Bare Chip)状态，由于目前部分内存等组件，既要增大容量、又要减小所占用体积，而纷纷采取例如堆栈式封装，堆栈多层裸晶并封装后再要进行检测，难度将大幅提高，为保障半导体组件制造质量且预防日后不良品衍生损失，在裸晶阶段即进行电性检测乃成为必要之品管过程。

裸晶的外观如图1所示，裸晶10大致呈矩形薄片状，相较于动辄数毫米(mm)至十余毫米见方之长度与宽度，其厚度往往仅百余微米(μm)彼此差距百倍，故在其厚度方向非常易于受损。裸晶10在端缘处则形成有多个接点102以供日后电性连接，随半导体制程技术快速提升，裸晶的尺寸不断缩减，接点的数量反而因功能需求而增多，轻薄短小的裸晶与布设密集接点已为时势所趋。

由于接点数量多且位置密集，目前进行测试时，多以探针卡(Probe Card)作为电连接检测的接口，常见的探针卡外型不一，但构造大致相同，均为利用探针卡上间距对应裸晶接点间隔的探针群，一次直接覆盖待测裸晶的多个接点，供给并传输电讯号进行电性测试，进而判断裸晶良莠。

如图2所示，为探针卡点触裸晶接点的立体示意图，多个接点102配置于裸晶10一侧，探针卡2确定位置垂直下压后，使探针卡2一端的多个探针22逐一对应裸晶10的多个接点102，完成电连接的导通路径。

半导体制程快速进化，然进行裸晶测试时，仍以人工操作检测机、单次检测单颗裸晶的检测模式为主，既为人工检测，不免有误测、漏测或因裸晶脆弱特性，发生于吸放裸晶时误损待测裸晶情事。且因此，检测机置入待测裸晶进行检测、取出完测裸晶的流程速度几乎无法提升，产出效率可想而知。且因裸晶并非最终使用的状态，随后必然面临将接点引出形成接脚以及进行封装的无尘室作业，检测过程中，作业人员的手动操作无疑又带来些许不确定因素，从而提高污染源的可能性。

因此，若能提供一种全自动化、可同时进行多个裸晶自动化检测，并提供脆弱的裸晶洁净、安全的检测动线与环境，不仅立即提升裸晶检测效率，亦同时提升检测质量与裸晶良率保证，应为最佳解决方案。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种完全取代人工检测，且同时施测多个裸晶，有效提升检测质量与效率的裸晶测试机台用缓冲分类装置。具有缓冲分类装置的裸晶测试机台进出料过程妥善传递裸晶，避免造成无谓损坏。本发明所要解决的另一技术问题是提出一种具有上述缓冲分类装置的裸晶测试机台。

为了解决上述技术问题，本发明提出的裸晶测试机台用缓冲分类装置，供该机台测试的多个裸晶被置放于多个测试承载盘中，且每一测试承载盘中均形成有多个分别用以承载该等裸晶的承载槽，其创新点在于：受该机台处理装置驱动的缓冲分类装置包括：用于置放上述测试承载盘的缓冲区；多个用于分类置放该等受测裸晶、且分别形成有多个收纳该等裸晶的容置槽的出料承载盘；将该等位于缓冲区中的测试承载盘内的受测裸晶依照该处理装置驱动讯号分别移入对应出料承载盘中的搬移器。

本发明中，缓冲区最好位于机台的基座上；搬移器最好为设置有吸嘴的机械臂；该吸嘴最好具有大于一个预定截面的吸附部，藉此将吸力分散至被吸取的该裸晶的一个预定面积。

本发明提出的裸晶测试机台，供该机台测试的多个裸晶被置放于多个测试承载盘中，且每一测试承载盘中均形成有多个分别用以承载该等裸晶的承载槽，其特征是，该机台包含：基座、输送该等承载盘的输送装置、对应该输送装置的检测装置、接受该检测装置讯号而判定该等受测裸晶性能的处理装置及受该处理装置驱动的上述的缓冲分类装置。

本发明上述裸晶测试机台中，最好还包含对应该输送装置和/或该检测装置，并将该等测试承载盘中的该等裸晶位置数据输出至该处理装置的影像撷取装置。

相对于现有技术，本发明的缓冲分类装置于分类时仅对裸晶进行单次吸放动作，精心设计的吸嘴吸附部有效吸取裸晶却无损坏裸晶顾虑；整合缓冲分类装置于测试机台，藉由测试承载盘同时携行多颗裸晶，可于多个检测端口位置、无须刻意取放裸晶即可同步进行检测。

附图说明

图1是常见的裸晶的外观立体示意图；

图2是常见的探针卡点测裸晶的立体图；

图3是本发明裸晶测试机台第一实施例俯视图；

图4是图3中检测装置的俯视图；

图5是图3中搬移器吸嘴的立体图；