[发明专利]清洗系统上的喷射装置

权利要求书

1.一种清洗系统上的喷射装置，所述喷射装置包括第一喷射管和第二喷射管，所述第一、第二喷射管上分别设有数个喷嘴，以分别在晶圆的正面和背面喷射清洗液，其特征在于，所述喷射装置还包括第三喷射管，所述第三喷射管设有对晶圆边缘喷射清洗液的喷嘴。

2.如权利要求1所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，第三喷射管上喷嘴的开口方向与第一喷射管和第二喷射管上喷嘴的开口方向垂直。

3.如权利要求1所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，所述喷射装置包括分别对所述第一喷射管、第二喷射管和第三喷射管提供清洗液的第一液体管、第二液体管和第三液体管；其中第三液体管连接至第二液体管上。

4.如权利要求1所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，所述喷射装置包括分别对所述第一喷射管、第二喷射管和第三喷射管提供清洗液的第一液体管、第二液体管和第三液体管；其中第三液体管输送的清洗液是可以与晶圆表面残留物发生化学反应的化学液，第一液体管、第二液体管输送的清洗液是去离子水。

5.如权利要求3或者4所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，所述第三喷射管设有控制清洗液流量的调节阀。

6.如权利要求5所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，所述调节阀是空气阀。

7.如权利要求1所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，所述第三喷射管由可调节喷嘴角度的软管制成。

8.如权利要求1所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，第一喷射管和第二喷射管上分别设有三个喷嘴，第三喷射管上设有一个喷嘴。

9.如权利要求1所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，所述第三喷射管的喷嘴开口对准晶圆的正面边缘。

10.如权利要求1所述的清洗系统上的喷射装置，其特征在于，所述第三喷射管的喷嘴采用的是氟素树脂管。