[发明专利]半导体制造流程辅助决策系统

权利要求书

1、一种半导体制造流程辅助决策系统，其特征在于，包括：门户系统模块、制造流程管理模块、流程信息建模模块、数据应用管理模块、资源库模块，其中：

门户系统模块是用户登陆系统的平台，用户在进行日常的制造流程管理时通过门户系统模块调用制造流程管理模块，在新建或编辑制造流程模板时通过门户系统模块调用流程信息建模模块，管理维护和更新资源库模块中的内容时通过门户系统模块调用数据应用管理模块；

制造流程管理模块根据资源库模块中的信息负责对各制造过程中的流程运行、返工处理、生产进度、统计报表进行管理，各流程运行情况和执行结果通过门户系统模块反馈给用户，流程运行中收集的信息和运行记录保存到资源库模块中；

流程信息建模模块建立或更新各类制造流程模板，编辑好的模板保存到资源库模块，并在制造流程管理模块中使用；

数据应用管理模块对资源库模块中的数据进行管理和维护，实现数据分布式管理、安全性管理；

资源库模块负责按照制造流程管理模块、流程信息建模模块和数据应用管理模块的指令进行操作，对半导体制造相关信息和数据进行存储。

2、根据权利要求1所述的半导体制造流程辅助决策系统，其特征是，所述制造流程管理模块，包括：流程模板管理模块、返工流程管理模块、生产进度管理模块、统计报表管理模块、设备管理模块和故障预警管理模块，其中：

流程模板管理模块负责管理维护在制造信息建模模块中建立的各制造工艺的流程模板，执行管理可选工作、重新开始工作流、中止工作流运行；

返工流程管理模块负责管理返工流程的发起、运行和监控；

生产进度管理模块负责管理系统中各个批次产品的流程进度情况；

统计报表管理模块负责管理和分析制造过程中生成的统计报表；

设备管理模块负责对各制造工序的仪器设备、环境和动力参数控制进行常规管理、按期维护和信息积累；

故障预警管理模块负责检测和处理可能出现故障或导致返工的情况并及时反馈给系统管理员和相关负责人；

上述各子模块根据门户系统模块的要求，完成相应操作并将流程运行情况和执行结果反馈给用户，同时流程运行中收集的信息和流程记录保存到资源库模块中。

3、根据权利要求1所述的半导体制造流程辅助决策系统，其特征是，所述流程信息建模模块包括：流程节点建模模块、创建新流程模块、流程修改模块，其中：

流程节点建模模块负责按照工序节点对半导体制造过程建立层次化的功能模型；

创建新流程模块负责根据新工艺创建新的制造流程模板；

流程修改模块负责对系统中已有流程根据工艺改进需要进行参数修改，使其适应更新的工艺；

流程节点建模模块、创建新流程模块、流程修改模块三个子模块由用户按照需求通过门户系统模块调用，编辑好的模板保存到资源库模块，并在制造流程管理模块中使用。

4、根据权利要求3所述的半导体制造流程辅助决策系统，其特征是，所述流程节点建模模块，采用集成计算机辅助制造结构化定义方法功能模型对半导体制造流程进行层次化建模，半导体制造流程从生产制令制定到完成过程包括：制定周生产制令、制定详细生产工艺、原材料仓库管理、生产执行、成品入库、销售流程节点，每个节点又细分为多个子节点，通过集成计算机辅助制造结构化定义方法图对制造流程节点进行层次化的建模，并提供集成计算机辅助制造结构化定义方法图的图形操作界面，通过门户系统模块响应用户操作并显示结果，各流程节点功能模型通过基于本体的信息表示建模方式存储在资源库模块中。

5、根据权利要求3所述的半导体制造流程辅助决策系统，其特征是，所述创建新流程模块，其创建新的流程模板时，新建并命名新的根节点模板，按照需求添加系统中的工序节点模型以及审批任务，再添加流程模板的属性以及对流程执行和审批者的岗位要求，完成创建后该流程模板将能够被制造流程管理模块中调用。