[发明专利]XYY精密定位平台的校准方法

权利要求书

1、一种XYY精密定位平台的校准方法，所述平台具有一控制器，所述控制器连接至三个执行器，每个执行器进一步包括一个功率放大部件、一个电机、一个伸缩机构和一个校正部件，所述的三个执行器中一共包括三个伸缩机构，这三个伸缩机构分别为一个X方向的伸缩机构，记为x伸缩机构，以及两个Y方向的伸缩机构，记为y1、y2伸缩机构，所述控制器还连接至三个伸缩传感器，分别记为x伸缩传感器和y1、y2伸缩传感器，其特征在于，所述的三个伸缩传感器分别用来探测x伸缩机构、y1伸缩机构和y2伸缩机构的伸缩量，所述校准方法包括下列步骤：

(1)执行器校准，用于对来自控制器的控制值F进行校正，以得到校正后的控制值F′，将F′送入功率放大部件，转换成电流值I′后再送入电机；

(2)伸缩传感器校准，使所述平台分别沿X方向和Y方向移动一段距离，通过对平台的坐标以及伸缩传感器的探测和计算，分别得到三个伸缩传感器各自的误差比例；

(3)校准解耦矩阵，分别使三个伸缩机构中的两个保持静止，另一个伸长或者缩短一段距离，并通过伸缩传感器读取平台坐标，以计算出解耦矩阵。

2、如权利要求1所述的校准方法，其特征在于，步骤(1)中，控制值F经所述校正部件变换为F′，其变换公式为：

F′＝F*MC+offset；

其中，参数MC和offset按如下方法确定：

任意取一个值of1，作为临时的offset存入校正部件；

关闭控制器，使控制值F变为0；

检测功率放大部件输出的电流，假设其大小为I1，并用β表示功率放大部件的放大倍率，用Leak表示功率放大部件的漏电流，则得到一个方程：

I1＝β*of1+Leak；

任意取不同于of1的值of2，并作为新的临时offset存入校正部件；

检测功率放大部件输出的电流，假设其大小为I2，则得到一个方程：

I2＝β*of2+Leak；

解上述两方程，得到功率放大部件的β和Leak，则合理的offset和MC分别为：

offset=-Leakβ;]]>MC=1β*Kf.]]>