[发明专利]卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法无效
| 申请号： | 200810035325.8 | 申请日： | 2008-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101251436A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 沈蓓军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 格林 反射 光学系统 加工 在线 检验 方法 | ||
【权利要求书】：
1. 一种卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法，它由标准自准直平面镜(1)、补偿透镜(3)和检测仪器(4)组成，其特征在于：在被检测的卡塞格林光学系统(2)的前方有能使检验光束原路返回的标准自准平面镜(1)，在被检验的卡塞格林二反射镜光学系统(2)后光路中有一块用来补偿被检验的光学系统轴上球差的补偿透镜(3)，在被检测的卡塞格林光学系统(2)的焦点上有用来测量副反射镜(201)非球面加工误差的检测仪器(4)。
2. 根据权利要求1所述的一种卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法，其特征在于：所说的标准自准直平面镜(1)采用面形精度优于十分之一检验光波长，通光口径大于主反射镜(202)通光口径50mm以上的标准平面反射镜。
3. 根据权利要求1所述的一种卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法，其特征在于：所说的补偿透镜(3)采用高质量的光学玻璃制成，所说的光学玻璃材料可选用K9或BK7牌号的玻璃。
4. 根据权利要求1所述的一种卡塞格林二反射镜光学系统加工在线检验方法，其特征在于：所说的检测仪器(4)是刀口仪和激光干涉仪，在对非球面副反射镜(201)进行修带时，采用刀口仪进行检测，当加工误差进入二分之一波长范围对副反射镜(201)非球面面形进行精修时，采用激光干涉仪检验。
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