[发明专利]用于微位相差膜热处理的多光束激光装置

权利要求书

1.一种用于微位相差膜热处理的多光束激光装置，其特征在于，所述的 装置包含：

一红外线激光光源；

一多光束模块，将所述的红外线激光光源的光束分成复数道强度相当的 平行光束并做聚焦；以及

一第一驱动装置，为所述的多光束模块提供一扫描方向，其中所述的多 光束模块依所述的扫描方向可在所述的位相差膜的一表面上扫描出一组复数 条平行扫描线。

2.如权利要求1所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束激 光装置更包含：

一平台；以及

一第二驱动装置，驱动所述的平台使其以垂直于所述的扫描方向的方向 移动。

3.如权利要求1所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的第一驱动 装置为一伺服电机或一步进电机。

4.如权利要求1所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的红外线激 光光源为一气体激光或一固态激光。

5.如权利要求1所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束模 块包括复数个分光镜与复数个反射镜组合的一分光光学模块、一光纤光耦合 分光器、一平面光波导分光模块、一光栅分光模块或以微电机做成的微型分 光器。

6.如权利要求1所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束激 光装置更包含一激光功率检测器。

7.如权利要求1所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束激 光装置更包含一可见光激光光源，其中所述的可见光激光光源的光束通过所 述的红外线激光光源的光路以进行光学调整。

8.一种用于微位相差膜热处理的多光束激光装置，其特征在于，所述的 装置包含：

一红外线激光光源；

一多光束模块，将所述的红外线激光光源的光束分成复数道强度相当的 平行光束并做聚焦；以及

一平台，承载位相差膜。

9.如权利要求8所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的平台更包 含：

一驱动装置，用于驱动所述的平台移动，而使得所述的多光束模块可在 所述的位相差膜表面上扫描出复数组的平行扫描线。

10.如权利要求9所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的驱动装置 为一伺服电机或一步进电机。

11.如权利要求8所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的红外线激 光光源为一气体激光或一固态激光。

12.如权利要求8所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束模 块包括复数个分光镜与复数个反射镜组合的一分光光学模块、一光纤光耦合 分光器、一平面光波导分光模块、光栅分光模块或以微电机做成的微型分光 器。

13.如权利要求8所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束激 光装置更包含一激光功率检测器。

14.如权利要求8所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束激 光装置更包含一可见光激光光源，其中所述的可见光激光光源的光束通过所 述的红外线激光光源的光路以进行光学调整。

15.一种用于微位相差膜热处理的多光束激光装置，其特征在于，所述的 装置包含：

一红外线激光光源；

一分光模块，将所述的红外线激光光源的光束分成复数道强度相当的平 行光束；

一聚焦模块，将所述的平行光束导引并分别聚焦至所述的位相差膜的一 表面；以及

一第一驱动装置，为所述的聚焦模块提供一扫描方向，其中所述的聚焦 模块依所述的扫描方向而在所述的位相差膜的一表面上扫描出一组复数条平 行扫描线。

16.如权利要求15所述的多光束激光装置，其特征在于，所述的多光束 激光装置更包含：

一平台；以及

一第二驱动装置，驱动所述的平台使其以垂直于所述的扫描方向的方向 移动。