[发明专利]搬送装置

权利要求书

1.一种搬送装置，其配置在真空室内，包括固定基座、相对于该固定基座保持为可旋转的旋转基座、支撑于该旋转基座的直线移动机构、和支撑于该直线移动机构的柄，在所述旋转基座的期望的旋转位置通过所述直线移动机构的动作，水平保持所述柄上载置的工件并进行搬送，其特征在于：

在所述旋转基座或者所述直线移动机构的下表面侧的合适部位设有热辐射面，

在形成所述真空室的壁中的、与所述旋转基座的下表面侧相对的壁的至少一部分上，设有热吸收面。

2.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于：

在所述旋转基座或者所述直线移动机构的上表面侧的合适部位，设有反射来自所述柄侧的热量的热反射面。

3.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于：

所述热吸收面设置在所述真空室的底面或者所述固定基座的向所述真空室的露出面的至少一部分上。

4.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于：

设有向外部排出由所述热吸收面吸收的热量的冷却单元。

5.如权利要求4所述的搬送装置，其特征在于：

所述冷却单元包括以与设有所述热吸收面的部件接触的方式绕设的制冷剂循环通路。

6.如权利要求1所述的搬送装置，其特征在于：

所述直线移动机构构成为，连接多个臂而成的连杆臂机构，

在该连杆臂机构的上表面侧的合适部位设有反射来自所述柄侧的热量的热反射面，并且在所述连杆臂机构的下表面侧的合适部位设有所述热辐射面。

7.如权利要求6所述的搬送装置，其特征在于：

所述直线移动机构还具有支撑在所述旋转基座上，并用于引导所述柄沿规定方向移动的导轨，

在所述导轨和所述柄之间设有所述热反射面。