[发明专利]包括参考传感器元件的传感器

权利要求书

1.一种电磁辐射传感器，具有形成在第一衬底中的第一和第二传感 器元件和形成在第二衬底中的第一和第二盖，第一和第二盖具有各自的 腔，第一和第二衬底在接合过程中彼此相对布置以使得第一传感器元件位 于第一盖的腔的下面，和第二传感器元件位于第二盖的腔的下面，从而提 供第一和第二单元，第一盖配置成便于辐射的传导穿过该第一盖，第二盖 配置成部分不透明，从而使所述辐射的已知部分传导穿过该第二盖并且到 达第二传感器元件上，

第一单元提供基于第一响应特征的输出，和第二单元提供基于第二响 应特征的输出；第二单元的输出用来校准第一单元的输出。

2.如权利要求1中的传感器，其中第二单元的输出小于第一单元的 输出。

3.如权利要求1中的传感器，其中第一和第二单元每个的响应特征 为各单元的如下性质的至少一个的函数：

a)光学响应特性，

b)电学响应特性，

c)热响应特性，

d)用于照射第一和第二单元各自的辐射源的性质。

4.如权利要求1中的传感器，其中用于第二传感器元件的盖过滤入 射在第二单元上的辐射的至少一部分。

5.权利要求1的传感器，其中用于第二传感器元件的盖包括反射该 盖上入射的辐射的反射涂层。

6.权利要求1的传感器，其中第一盖包括构造用于提供入射辐射到 第一传感器元件上的聚焦的光学元件，该光学元件形成在第一盖的内表面 或外表面中。

7.如权利要求1中的传感器，其中用于第一和第二传感器元件的各 腔彼此成流体连通。

8.如权利要求1中的传感器，其中用于第一和第二传感器元件的每 个腔与用于第一和第二传感器元件的另外的腔隔离。

9.如权利要求1中的传感器，其中第一和第二衬底由硅提供。

10.如权利要求1中的传感器，其中第一和第二传感器元件为红外线 传感器元件。

11.如权利要求1中的传感器，其中至少一个光学元件为衍射光学元 件。

12.如权利要求6中的传感器，其中至少一个光学元件为折射光学元 件。

13.如权利要求1中的传感器，其中所述腔内的环境条件和成分能够 被指定。

14.如权利要求13中的传感器，其中所述腔设置在低于周围压力的 压力下。

15.如权利要求13中的传感器，其中所述腔填有为了所述传感器要 被使用的应用而选择的气体成分。

16.如权利要求15中的传感器，其中所述气体成分包括具有比氮的 热导率低的热导率的气体。

17.如权利要求6中的传感器，其中所述光学元件形成在所述盖的内 表面中、邻近腔。

18.如权利要求6中的传感器，其中所述光学元件形成在所述盖的外 表面中、远离腔。

19.如权利要求6中的传感器，其中在用于第一传感器元件的盖的内 表面和外表面中都形成有光学元件，邻近和远离腔的所述光学元件的组合 形成复合透镜。

20.如权利要求6中的传感器，其中形成有多个传感器元件并且所述 光学元件构造成把特定波长的辐射选择性地引导到所述多个传感器元件 的预先选定的传感器元件。

21.如权利要求1中的传感器，其中用于第一和第二传感器元件的盖 形成在相同的第二衬底中，所述传感器附加地包括外盖，所述外盖位于第 二衬底之上，所述外盖包括光学元件。

22.如权利要求1中的传感器，其中在布置第一和第二衬底的每个与 另一个彼此相对时，每个所述盖都由侧壁形成，所述侧壁从第一衬底向上 延伸并支撑其间的顶部，该顶部位于实质上平行于传感器元件的平面中。