[发明专利]具有改进的腔室壁的液体喷射器

权利要求书

1.一种液体喷射器，它包括：

基底，所述基底的多个部分形成液体供应装置；

多个液体腔室，每个所述液体腔室定位在所述基底之上，并且包括喷嘴板和腔室壁，所述喷嘴板和所述腔室壁包括一种无机材料，当在每个所述液体腔室中存在液体时所述喷嘴板和所述腔室壁的无机材料可与液体接触，所述喷嘴板包括顶表面，所述腔室壁包括无机材料制的两个壁部，所述两个壁部彼此间隔开，使得在所述两个壁部之间存在有间隙，所述间隙伸展到所述喷嘴板的所述顶表面；以及

定位在所述基底之上的有机材料区域，所述有机材料区域相对于所述喷嘴板和所述腔室壁设置成使得当在每个所述液体腔室中存在液体时所述有机材料区域不会与液体接触，其中，由位于所述液体供应装置的相对侧面上的邻近的液体腔室的腔室壁形成所述有机材料区域的边界。

2.按照权利要求1所述的液体喷射器，其特征在于，所述有机材料区域的有机材料是聚酰亚胺。

3.按照权利要求1所述的液体喷射器，其特征在于，所述喷嘴板包括一定厚度，所述有机材料区域包括一定厚度，其中，所述喷嘴板的厚度比所述有机材料区域的厚度小。

4.按照权利要求3所述的液体喷射器，其特征在于，所述喷嘴板的厚度在3微米到10微米之间，而所述有机材料区域的厚度在8微米到16微米之间。

5.按照权利要求1所述的液体喷射器，其特征在于，所述喷嘴板的无机材料与所述腔室壁的无机材料是相同的无机材料。

6.按照权利要求5所述的液体喷射器，其特征在于，所述无机材料是氧化硅。

7.按照权利要求1所述的液体喷射器，其特征在于，在位于所述液体供应装置的同一侧面上的相邻的液体腔室之间没有任何的有机材料区域。

8.按照权利要求1所述的液体喷射器，其特征在于，由邻近的液体腔室的腔室壁界定出的所述有机材料区域中的至少一个区域在所述液体供应装置之上悬伸出。

9.按照权利要求1所述的液体喷射器，其特征在于，所述液体供应装置包括多个液体馈送口，肋把相邻的液体馈送口分开，所述肋是基底的一部分。

10.按照权利要求9所述的液体喷射器，其特征在于，由邻近的液体腔室的腔室壁界定出的所述有机材料区域中的至少一个区域与所述肋接触。

11.按照权利要求9所述的液体喷射器，所述肋的宽度小于40微米。

12.一种液体喷射器，它包括：

基底，所述基底的多个部分形成液体供应装置；

多个液体腔室，每个所述液体腔室定位在所述基底之上，并包括喷嘴板和腔室壁，所述喷嘴板和所述腔室壁包括一种无机材料，当在每个所述液体腔室中存在液体时所述喷嘴板和所述腔室壁的无机材料可与液体接触，所述喷嘴板包括顶表面，所述腔室壁包括无机材料制的两个壁部，所述两个壁部彼此间隔开，使得在所述两个壁部之间存在有间隙，所述间隙伸展到所述喷嘴板的所述顶表面；以及

定位在所述基底之上的有机材料区域，所述有机材料区域相对于所述喷嘴板和所述腔室壁设置成使得当在每个所述液体腔室中存在液体时所述有机材料区域不会与液体接触，其中，在位于所述液体供应装置的同一侧面上的相邻的液体腔室之间没有任何的有机材料区域。

13.按照权利要求12所述的液体喷射器，其特征在于，多个液体腔室中的至少一个包括多个腔室壁，其中，所述多个腔室壁之一包括朝向有机材料伸展的突伸部。

14.按照权利要求13所述的液体喷射器，其特征在于，所述突伸部的曲率半径大于5微米。

15.按照权利要求12所述的液体喷射器，其特征在于，所述多个液体腔室中的至少一个包括多个腔室壁，其中，一个腔室壁在曲率半径大于5微米的角部与另一个腔室壁相交。

16.按照权利要求12所述的液体喷射器，其特征在于，每个液体腔室包括位于所述基底之上在所述基底与所述喷嘴板之间的无机材料层，当在每个液体腔室中存在液体时所述无机材料层可与液体接触，其中，所述无机材料层与每个液体腔室的腔室壁的无机材料的一部分接触。

17.按照权利要求12所述的液体喷射器，其特征在于，所述喷嘴板包括一定厚度，而所述有机材料区域包括一定厚度，其中，所述喷嘴板的厚度比所述有机材料区域的厚度小。