[发明专利]用于机械手肘关节组件的方法和装置有效
| 申请号: | 200780029900.7 | 申请日: | 2007-08-10 |
| 公开(公告)号: | CN101535010A | 公开(公告)日: | 2009-09-16 |
| 发明(设计)人: | 惠特尼·B·克罗兹;达蒙·K·考克斯;杰弗里·A·伯蒂尼;多明戈·J·古艾尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
| 主分类号: | B25J17/00 | 分类号: | B25J17/00;B25J17/02 |
| 代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 赵 飞;南 霆 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 机械手 肘关节 组件 方法 装置 | ||
1.一种肘关节组件,其适合于耦合到叶片和机械手臂,包括:
外壳,其具有盖部及底部,并且包括一个或多个热扼阻以及一个或多 个切除部分,其都适于将所述肘关节组件与用于保持衬底的所述叶片间的 接触面积最小化,其中,所述热扼阻是从所述外壳的盖部突出的突起部;
一个以上的枢轴,其仅安装到所述外壳的所述盖部并且至少部分地被 包封于所述外壳中,并适于耦合到所述机械手臂,其中,与将所述一个以 上的枢轴设置在所述外壳的所述底部相比,将所述一个以上的枢轴设置在 所述外壳的所述盖部导致所述肘关节温度降低;以及
带,耦合到所述枢轴,并适于绕轴承旋转所述枢轴,
其中,所述外壳的所述底部适于将热量反射离开所述至少一个枢轴及 所述轴承。
2.如权利要求1所述的肘关节组件,其中所述外壳是由选择以限制热 量流入所述肘关节组件的一种或多种材料所制成。
3.如权利要求1所述的肘关节组件,其中所述外壳的所述盖部是由热 导性比用于所述至少一个枢轴的材料低的材料所制成。
4.如权利要求1所述的肘关节组件,其中所述外壳进一步包括辐射屏 蔽,其适于防止热量进入所述肘关节组件。
5.如权利要求1所述的肘关节组件,其中所述至少一个枢轴是由选择 以使得热量从所述肘关节组件扩散的材料所制成。
6.如权利要求1所述的肘关节组件,进一步包括曲径环,其适于捕捉 来自所述轴承的粒子。
7.如权利要求1所述的肘关节组件,其中所述轴承包括非导体性负载 球体、以及至少一个导体性负载球体,所述导体性负载球体适于维持通过 所述轴承的导电性。
8.一种延长肘关节组件的寿命的方法,所述肘关节组件适合于耦合到 叶片和机械手臂,包括:
将反射性屏蔽接附到所述肘关节组件的底部;
用热导性低于所述肘关节组件的枢轴的材料制成所述肘关节组件的外 壳;
将一个以上的枢轴仅安装到所述外壳的盖部,其中,与将所述一个以 上的枢轴设置在所述外壳的底部相比,将所述一个以上的枢轴设置在所述 外壳的所述盖部导致所述肘关节温度降低;以及
在所述外壳的所述盖部内形成至少一个热扼阻,其中,所述热扼阻是 从所述外壳的盖部突出的突起部;并且
在所述外壳的盖部内形成切除部分,其中,所述热扼阻和所述切除部 分的结合减小了所述叶片与所述肘关节组件间的接触面积。
9.一种用于电子器件制造处理的机械手,包括:
肘关节组件,其适合于耦合到叶片和机械手臂,包括:
外壳,其具有盖部及底部,并且包括一个或多个热扼阻以及一个 或多个切除部分,其都适于将所述肘关节组件与用于保持衬底的所述叶片 间的接触面积最小化,其中,所述热扼阻是从所述外壳的盖部突出的突起 部;
一个以上的枢轴,其仅安装到所述外壳的所述盖部并至少部分地 被包封于所述外壳中,并适于耦合到所述机械手臂,其中,与将所述一个 以上的枢轴设置在所述外壳的所述底部相比,将所述一个以上的枢轴设置 在所述外壳的所述盖部导致所述肘关节温度降低;以及
带,耦合到所述枢轴,并适于绕轴承旋转所述枢轴,
其中,所述外壳的所述底部适于将热量反射离开所述至少一个枢 轴及所述轴承。
10.如权利要求9所述的机械手,其中所述外壳是由选择以限制热量 流入所述肘关节组件的一种或多种材料所制成。
11.如权利要求10所述的机械手,其中所述外壳的至少一个部分由钛 所制成。
12.如权利要求9所述的机械手,其中所述外壳的所述盖部是由热导 性比用于所述至少一个枢轴的材料低的材料所制成。
13.如权利要求9所述的机械手,其中所述外壳进一步包括辐射屏 蔽,其适于防止热量进入所述肘关节组件。
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