[发明专利]处理装置

权利要求书

1.一种处理装置，是对被处理体在规定的处理压力下实施规定的 处理的单片式处理装置，其特征在于，包括：

在底部具有排气口的能够抽真空的处理容器；

用于载置所述被处理体而设置在所述处理容器内的载置台；

连接所述排气口，并且能够通过滑动式的阀体改变阀口的开口区 域面积的压力控制阀；和

与所述压力控制阀连接的排气系统，

偏心设置所述压力控制阀，使得所述载置台的中心轴位于由所述 压力控制阀的阀开度为5～40％的范围内的实用区域形成的所述开口 区域内。

2.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述载置台的中心轴位于由所述开口区域形成的平面的重心的移 动轨迹上。

3.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述排气系统具有涡轮分子泵，所述涡轮分子泵与所述压力控制 阀相连接。

4.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述阀体以直线状滑动移动。

5.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述阀体以曲线状能够摇动地滑动移动。

6.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述载置台从所述处理容器的侧壁利用支撑臂支撑。

7.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：

所述载置台从所述处理容器的底部利用支撑脚支撑。