[实用新型]CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统

权利要求书

1.CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统，其特征在于：主要包括有光源(I)、控制系统(II)和光学变换部分(III)，其中，光源(I)为全固态钛宝石830nm激光器(1)，控制系统(II)包括有电脑(6)、数控装置(5)和三维移动平台(4)，光学变换部分(III)包括有830nm反射镜(2)和第一聚焦透镜(3)，CTP版材固定于三维移动平台(4)上，电脑(6)通过第一数控装置(5)控制三维移动平台(4)的移动，电脑还通过第二数控装置(7)控制全固态钛宝石830nm激光器的出光和关光，全固态钛宝石830nm激光器(1)发出的光经过光学变换部分(III)的反射镜(2)和聚焦透镜(3)后作用在CTP版材上。

2.根据权利要求1所述的CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统，其特征在于：所述的全固态钛宝石830nm激光器(1)中的泵浦源为平凸腔LD泵浦倍频Nd:YAG 532nm激光器，工作物质为掺钛蓝宝石，钛宝石谐振腔采用三镜V字腔型，腔内放置用于对腔内震荡光实现色散的三棱镜(K)，凸面反射镜(M1)镀膜对532nm、1064nm高反；声光调Q开关由控制系统(II)控制；倍频晶体采用KTP磷酸二氢钾；532nm平面输出镜(M2)镀膜对1064nm高反、对532nm高透；第二聚焦透镜(L)镀有532nm高透膜；第一凹面反射镜(M3)镀膜对532nm高透、对700～900nm高反；钛宝石Ti:S对入射的532nm激光以布儒斯特角放置；第二凹面反射镜(M4)镀有700～900nm高反膜并对800nm激光以16.06度放置进行像散补偿；通过调节830nm输出镜(M5)的放置角度使三棱镜实现830nm激光输出。