[实用新型]激光蚀刻装置有效
| 申请号： | 200720150396.3 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN201079891Y | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 陈永富;李玉麟;周贤能;江柏毅;吴泰纬;叶士玮;王恭谦;严永铭;杨舜涵;黄永祥;陈纪;陈光文;陈启宏 | 申请（专利权）人： | 豪晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/04;B23K26/08;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许志勇;霍育栋 |
| 地址： | 中国台湾高雄市前*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 蚀刻 装置 | ||
1.一种激光蚀刻装置，用以蚀刻一背光模块元件，该激光蚀刻装置包含：产生一激光光束的一激光光源；接收及传送该激光光束的一导光系统；以及承载及移动该背光模块元件的一平台，其中该导光系统包含调整该激光光束打入该背光模块元件的位置的一振镜式扫描系统。
2.如权利要求1所述的激光蚀刻装置，其中该激光光束的模式为TEM00。
3.如权利要求1所述的激光蚀刻装置，其中该背光模块元件为一导光板。
4.如权利要求1所述的激光蚀刻装置，其中该背光模块元件为一导光板的模仁。
5.如权利要求1所述的激光蚀刻装置，其中该背光模块元件的尺寸大于462.25平方公分。
6.如权利要求1所述的激光蚀刻装置，其中该平台为一XY轴机械平台。
7.一种激光蚀刻装置，用以蚀刻一元件，该激光蚀刻装置包含：产生一激光光束的一激光光源；接收及传送该激光光束的一导光系统；以及承载及移动该元件的一平台，其中该导光系统包含：调整该激光光束打入该元件的位置的一振镜式扫描系统；以及使该激光光束以铅直方向打入该元件的一铅直光产生装置。
8.如权利要求7所述的激光蚀刻装置，其中该铅直光产生装置为一远心平场透镜。
9.一种激光蚀刻装置的导光系统，用以将一激光光束打入一元件，该导光系统包含：调整该激光光束打入该元件的位置的一振镜式扫描系统；以及使该激光光束以铅直方向打入该元件的一铅直光产生装置。
10.如权利要求9所述的导光系统，其中：
该激光光束的模式为TEM00；
该元件为一导光板或一导光板的模仁；
该元件的尺寸大于462.25平方公分；及/或
该铅直光产生装置为一远心平场透镜。
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