[实用新型]弹跳式致动器与微型马达

权利要求书

1.一种弹跳式致动器，其特征在于包括：

至少一BDA轴衬，所述BDA轴衬的高度与宽度的比例值小于1；

至少一BDA平板，所述BDA平板的长度小于75μm。

2.如权利要求1所述的弹跳式致动器，其特征在于：所述致动器组件施加驱动电压后，所述BDA平板后端接触所述绝缘层的摩擦力小于所述BDA轴衬对所述绝缘层的摩擦力，使所述BDA平板向上弯曲并仅以后端小面积接触，造成所述BDA轴衬被挤压和内缩；施加的电压移除后，所述BDA平板后端接触所述绝缘层的摩擦力便大于所述BDA轴衬对所述绝缘层的摩擦力，储存的张力使所述致动器组件以弹跳式的动作模式向后弹出。

3.如权利要求1所述的弹跳式致动器，其特征在于：所述致动器组件为连结固定于一BDA支撑悬臂梁，且其间连结处具有导角设计。

4.一种弹跳式致动微型马达，其特征在于包括：

至少一弹跳式致动器，所述弹跳式致动器由一BDA轴衬与一BDA平板构成，且所述BDA轴衬的高度与宽度比小于1，所述BDA平板的长度小于75μm。

5.如权利要求4所述的弹跳式致动微型马达，其特征在于：所述微型马达的制作为制作弹跳式致动器，包括形成一道多晶硅结构、二道氧化牺牲层、一道绝缘层与一道金属薄膜。

6.如权利要求4所述的弹跳式致动微型马达，其特征在于：所述微型马达利用自我组装技术结合有多个微型扇叶，且其间以聚亚酰胺接点连结。