[实用新型]过滤器的恒温装置有效

专利信息
申请号: 200720149523.8 申请日: 2007-06-08
公开(公告)号: CN201046366Y 公开(公告)日: 2008-04-16
发明(设计)人: 吴健 申请(专利权)人: 北京京东方光电科技有限公司
主分类号: B01D35/18 分类号: B01D35/18
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 代理人: 刘芳
地址: 100176北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 过滤器 恒温 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种玻璃基板清洗工艺中的过滤器装置,特别是一种过滤器的恒温装置,属于液晶显示器制造领域。

背景技术

薄膜晶体管阵列(Thin Film Transistor Array,简称TFT Array)工艺中,在对玻璃基板进行清洗前,需要对由清洁液和去离子水混合而成的混合溶液进行过滤,因此,过滤器装置是玻璃基板清洗装置中必不可少的一部分。

图4为现有技术过滤器装置的结构示意图,其中过滤器外壳12套设在过滤器11外,管道13设置在过滤器外壳12之下并与过滤器11连通,过滤器装置的过滤器外壳12暴露在空气中。

上述结构的过滤器装置会造成如下缺点:由于过滤器外壳12暴露在空气中,当设备不连续运行时,温度较低的环境温度使过滤器内的混合溶液温度降低,其中的清洁液会由于温度降低达到饱和度而从混合溶液中结晶析处,形成比较大的颗粒物质,从而造成过滤器堵塞,降低过滤器的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种过滤器的恒温装置,可有效防止过滤器内混合溶液的温度降低,避免过滤器堵塞,提高过滤器的使用寿命。

为实现上述目的,本实用新型提供的过滤器的恒温装置,包括一将过滤器和过滤器外壳容置于内的箱体,所述箱体连接有向所述箱体内灌入液体的供给管道,所述箱体内设有使箱体内液体保持恒温的加热器。

进一步地,所述箱体内还设有温度传感器,测量箱体内液体温度的温度传感器与所述加热器连接;所述箱体内还设有水位传感器,测量箱体内液体高度的水位传感器与所述供给管道连接;所述箱体内还设有排出管道;所述供给管道与所述箱体的顶部连接;所述加热器设置在所述箱体的底部。

本实用新型过滤器的恒温装置通过对过滤器所处的工作环境加以改造,使过滤器处于具有恒定工作环境的箱体中,当箱体内液体的温度低于设定温度时,加热器启动,对箱体内液体进行加热,有效的防止了由于温度降低使得清洁液达到饱和度从混合溶液中析出,避免了过滤器堵塞问题,提高了过滤器的使用寿命,同时降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型具体实施例的结构示意图;

图3为本实用新型应用于玻璃基板清洗装置的示意图;

图4为现有技术过滤器装置的结构示意图。

具体实施方式

下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图,过滤器的恒温装置包括管道13、箱体14、供给管道15以及加热器16,其中,箱体14内灌充有液体,过滤器11和过滤器外壳12容置于箱体14内的液体中,箱体14连接有供给管道15,用于向箱体14内灌入液体,箱体14设有加热器16,用于使箱体14内的液体保持恒温。

本实用新型通过供给管道向箱体内灌入液体,通过加热器对箱体内液体进行加热,使过滤器始终处于温度恒定的液体环境中,有效防止了由于温度降低使得清洁液达到饱和度从混合溶液中析出,避免了过滤器堵塞问题,提高了过滤器的使用寿命。

图2为本实用新型具体实施例的结构示意图,在上述技术方案基础上,本实施例向箱体14内灌充去离子水,还包括一温度传感器17,该温度传感器17设置在箱体14的底部,与加热器16连接,用于测量箱体14内去离子水的温度,并向加热器16反馈此温度,从而使加热器16能及时调整加热功率,保证箱体14内去离子水恒温。

本实施例还可以包括一水位传感器18,该水位传感器18设置在箱体14的上部,与供给管道15连接,用于测量箱体14内去离子水的高度,并向供给管道15反馈此高度,从而调整供给管道15的入水量,保证箱体14内具备充足的去离子水。

本实施例还可以包括一排出管道19,用于排出箱体14内的去离子水。当需要更换过滤器11时,便可以打开排出管道19,将箱体14内的去离子水排出。

本实施例中,供给管道15与箱体14的顶部连接,加热器16设置在箱体14的底部。

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