[发明专利]一种补偿直流自偏压的方法及系统、半导体处理设备

权利要求书

1.一种补偿直流自偏压的方法，用于在半导体加工/处理过程中减小/消除半导体器件上直流自偏压所产生的影响，其特征在于，所述方法包括下述步骤：

1)对直流自偏压信号进行采样而获得直流自偏压采样信号，以及对用于向静电夹持装置输出第一电压和第二电压的第一电源进行采样而获得第一电源电压采样信号；所述第一电源电压采样信号包括：第一电源公共参考端电压采样信号、或者第一电源向静电夹持装置提供的第一电压的采样信号和第二电压的采样信号；

2)在第一电源电压采样信号为第一电源公共参考端电压采样信号时，执行下述步骤21)至22)，其中

21)对直流自偏压采样信号和第一电源公共参考端电压采样信号进行比较，以获得二者的差值；

22)根据所述采样信号的差值来调节第一电源公共参考端的电压，使其与所述直流自偏压的大小大致相等、极性相同，以使第一电压相对于直流自偏压的差值与第二电压相对于直流自偏压的差值大致相等，从而减小/消除半导体器件上的直流自偏压所产生的影响；或者

在第一电源电压采样信号为第一电源向静电夹持装置提供的第一电压的采样信号和第二电压的采样信号时，执行下述步骤26)至27)，其中

26)获得第一电压采样信号与直流自偏压采样信号之间的第一差值，以及第二电压采样信号与直流自偏压采样信号之间的第二差值；

27)根据所述第一差值和第二差值调节所述第一电压和第二电压，以使第一电源输出至静电夹持装置两个电极上的电压分别与直流自偏压之间的差值大致相等，从而减小/消除半导体器件上的直流自偏压所产生的影响。

2.根据权利要求1所述的补偿直流自偏压的方法，其特征在于， 所述步骤22)具体包括：根据所述采样信号的差值来控制公共参考端电压供给单元向第一电源公共参考端输出与所述直流自偏压大小大致相等、极性相同的电压。

3.根据权利要求2所述的补偿直流自偏压的方法，其特征在于，所述公共参考端电压供给单元包括可变电压源，所述可变电压源的输出端连接所述第一电源的公共参考端。

4.一种补偿直流自偏压的系统，用于在半导体加工/处理过程中减小/消除半导体器件上的直流自偏压所产生的影响，其特征在于，所述系统包括直流自偏压采样单元、第一电源电压采样单元和调节单元，其中

所述直流自偏压采样单元用于对直流自偏压进行采样，并将直流自偏压采样信号传输至所述调节单元；

所述第一电源电压采样单元用于对用来向静电夹持装置输出第一电压和第二电压的第一电源进行采样，并将第一电源电压采样信号传输至所述调节单元；所述第一电源电压采样信号包括：第一电源公共参考端电压采样信号，或者第一电源向静电夹持装置提供的第一电压的采样信号和第二电压的采样信号；以及

所述调节单元用于根据所述直流自偏压采样信号和第一电源电压采样信号，调节第一电源向静电夹持装置输出的电压，以减小/消除半导体器件上的直流自偏压所产生的影响；所述调节单元包括比较模块和调节模块，其中

在所述第一电源电压采样信号为第一电源公共参考端电压采样信号时，所述比较模块对直流自偏压采样信号和第一电源公共参考端电压采样信号进行比较，以获得二者的差值；并且所述调节模块根据所述采样信号的差值来调节第一电源公共参考端电压，使其与所述直流自偏压的大小大致相等、极性相同，以使第一电压相对于直流自偏压的差值与第二电压相对于直流自偏压的差值大致相等，从而减小/消除半导体器件上的直流自偏压所产生 的影响；或者

在所述第一电源电压采样信号包括第一电源向静电夹持装置提供的第一电压的采样信号和第二电压的采样信号时，所述比较模块对第一电压采样信号与直流自偏压采样信号进行比较，以获得第一差值，以及对第二电压采样信号与直流自偏压采样信号进行比较，以获得第二差值；并且所述调节模块根据来自所述比较模块的第一差值和第二差值，调节所述第一电压和第二电压，以使第一电源输出至静电夹持装置两个电极上的电压分别与直流自偏压之间的差值大致相等，从而减小/消除半导体器件上的直流自偏压所产生的影响。

5.根据权利要求4所述的补偿直流自偏压的系统，其特征在于，在第一电源电压采样信号为第一电源公共参考端电压采样信号时，该补偿直流自偏压的系统还包括公共参考端电压供给单元，所述调节模块根据所述采样信号的差值来控制公共参考端电压供给单元向第一电源公共参考端输出与所述直流自偏压大小大致相等、极性相同的电压。