[发明专利]X射线平板探测器

权利要求书

1.一种X射线平板探测器，其特征在于，包括：

薄膜晶体管基板，用于逐行读出电信号的电荷；

像素电极层，设置在所述薄膜晶体管基板上，用于采集电信号的电荷；

N型非晶硅层，设置在所述像素电极层上，用于阻止像素电极上的电荷的减少；

非晶硅层，设置在所述N型非晶硅层，用于进行可见光转换成所述电信号；

绝缘层，设置所述非晶硅层上，用于阻止电荷进入非晶硅层；

透明电极膜，设置在所述绝缘层上，用于施加电压使非晶硅层产生光电效应；以及

光子转换层，设置在所述透明电极上，用于将X射线的能量转换成可见光。

2.根据权利要求1所述的X射线平板探测器，其特征在于所述非晶硅层的厚度与所述绝缘层的厚度的比例为1∶10至1∶100。

3.根据权利要求1或2所述的X射线平板探测器，其特征在于所述非晶硅层为检测到70％以上的可见光的非晶硅层。

4.根据权利要求1或2所述的X射线平板探测器，其特征在于所述绝缘层采用氮化硅或树脂。

5.根据权利要求1或2所述的X射线平板探测器，其特征在于所述透明电极膜为氧化铟锡镀膜。

6.根据权利要求4所述的X射线平板探测器，其特征在于所述氧化铟锡镀膜的厚度为1微米。

7.根据权利要求1或2或4所述的X射线平板探测器，其特征在于所述光子转换层为闪烁体层。