[发明专利]薄膜天线的制作方法

权利要求书

1.一种薄膜天线的制作方法，包括：

(a)准备衬底；

(b)在所述衬底的表面涂覆聚合物；

(c)在所述聚合物上进行光刻，从而形成凹穴；

(d)将经过上述步骤的衬底作为镀件放入具有金属溶液的电铸槽中；

(e)从所述电铸槽中取出完成电铸的所述镀件；

(f)、将通过电铸沉积在所述凹穴中的沉积物从所述镀件中分离，从而制成天线。

2.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，所述衬底为金属、塑料或陶瓷中的任一种。

3.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，在进行所述步骤(b)前先清洗所述衬底表面，以去除氧化物、杂质、油质或水分子。

4.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，所述步骤(b)中的所述聚合物为二氧化硅(SiO₂)。

5.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，在进行所述步骤(c)前先在所述聚合物的表面涂覆光阻层。

6.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，所述步骤(c)的所述凹穴的深度由光照时间或强度决定。

7.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，在进行所述步骤(d)前先将所述聚合物表面涂覆的所述光阻层除去。

8.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，在所述步骤(d)中，以所述镀件为阴极，阳极为金属片，所述镀件与所述金属片是平行的，在通入直流电源后，所述金属溶液中的金属元素将沉积在所述镀件的所述凹穴中。

9.如权利要求8所述的薄膜天线的制作方法，其中，所述金属溶液含有镍元素。

10.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，在所述步骤(e)取出所述镀件后，对所述镀件进行清洗，将所述镀件上的所述金属溶液洗净。

11.如权利要求1所述的薄膜天线的制作方法，其中，将已完成的多个所述天线贴覆在涂覆有黏胶的基材表面上。

12.如权利要求11所述的薄膜天线的制作方法，其中，所述基材为离型纸或静电膜中的任一种。

13.如权利要求11所述的薄膜天线的制作方法，其中，在所述天线的表面上涂覆有黏胶。