[发明专利]光学变焦组件中光学元件的离轴平移校正无效

专利信息
申请号: 200710128032.X 申请日: 2007-06-22
公开(公告)号: CN101105641A 公开(公告)日: 2008-01-16
发明(设计)人: K·J·瓦奥莱特 申请(专利权)人: ASML控股有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 王波波
地址: 荷兰费*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要:
搜索关键词: 光学 变焦 组件 元件 平移 校正
【权利要求书】:

1.一种用于校正在对准轴上对准的元件的离轴平移的系统,包含:

激光器,其被配置成可生成平行于所述对准轴的虚基准轴射束;

射束采样装置,其位于所述元件上并且被配置成可指示所述元件相对于所述虚基准轴射束的位置;

检测器,其与所述射束采样装置连通并且被配置成可检测如由所述射束采样装置指示的、所述元件相对于所述虚基准轴射束的位置变化;以及

定位装置,其被配置成可基于所述检测器检测的位置变化使所述元件与所述虚基准轴射束对准。

2.如权利要求1所述的系统,其中所述射束采样装置是分束器。

3.如权利要求2所述的系统,其中所述检测器包含:

光敏元件;

第一光栅,其耦合至所述分束器;以及

第二光栅,其耦合至所述光敏元件。

4.如权利要求3所述的系统,其中所述光敏元件是光强传感器。

5.如权利要求2所述的系统,其中所述检测器包含四单元检测器。

6.如权利要求2所述的系统,其中所述检测器包含双三角检测器。

7.如权利要求1所述的系统,还包含误差放大器,其被配置成可基于所述检测器检测的位置变化生成反馈信号,其中所述定位装置被配置成可基于所述反馈信号使所述元件与所述虚基准轴射束对准。

8.一种具有变焦轴的光学变焦组件,包含:

透镜组件,其被配置成可以沿着所述变焦轴移动;

透镜滑座,其被配置成可促使所述透镜组件沿着所述变焦轴移动;以及

激光器,其被配置成可提供平行于所述变焦轴的虚基准轴射束;

其中所述透镜组件包含:

镜框;

检测器,其被配置成可检测所述镜框相对于所述虚基准轴射束的位置变化;以及

定位装置,其被配置成可在所述检测器检测到所述镜框的位置变化时使所述镜框与所述虚基准轴射束对准。

9.如权利要求8所述的光学变焦组件,还包含:

第二透镜组件,其被配置成可沿着所述变焦轴移动,其中所述第二透镜组件包含:

具有第二检测器的第二镜框,所述第二检测器被配置成可检测所述第二镜框相对于所述虚基准轴射束的位置变化;以及

第二定位装置,其被配置成可在所述第二检测器检测到所述第二镜框的位置变化时使所述第二镜框与所述虚基准轴射束对准。

10.如权利要求8所述的光学变焦组件,其中所述检测器包含:

射束采样装置,其位于所述镜框上并且被配置成可指示所述镜框相对于所述虚基准轴射束的位置;

传感器,其被配置成可检测如由所述射束采样装置指示的、所述镜框相对于所述虚基准轴射束的位置变化;以及

误差放大器,其被配置成可基于所述传感器检测到的位置变化生成反馈信号,

其中所述定位装置被配置成可基于所述反馈信号使所述镜框与所述虚基准轴射束对准。

11.如权利要求10所述的光学变焦组件,其中所述射束采样装置是分束器。

12.如权利要求11所述的光学变焦组件,其中所述传感器包含:

光敏元件;

第一光栅,其耦合至所述分束器;以及

第二光栅,其耦合至所述光敏元件。

13.如权利要求12所述的光学变焦组件,其中所述光敏元件是光强传感器。

14.如权利要求8所述的光学变焦组件,其中所述检测器是四单元检测器。

15.如权利要求8所述的光学变焦组件,其中所述检测器是双三角检测器。

16.一种用于校正在对准轴上对准的元件的离轴平移的方法,包含:

生成平行于所述对准轴的虚基准轴射束;

检测所述元件相对于所述虚基准轴射束的位置变化;以及

基于检测到的所述元件的位置变化,使所述元件与所述虚基准轴射束对准。

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