[发明专利]有机发光器件及其制造方法

权利要求书

1、一种有机发光器件，包括：

第一电极，设置在基板上；

隔离体，以栅格形设置在第一电极上，并具有凹槽形的孤立部分；

有机发光图案，设置在通过隔离体暴露出的第一电极上；以及

第二电极，设置在有机发光图案上，

其中所述隔离体包括：

第一无机图案，设置在第一电极上；以及

第二无机图案，设置在第一无机图案上，以形成孤立部分，

其中所述孤立部分设置在所述第二无机图案上，

其中所述有机发光图案还设置在所述孤立部分内设置的第一无机图案上。

2、根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，所述第一无机图案和第二无机图案是由无机材料形成。

3、根据权利要求2所述的有机发光器件，其特征在于，所述无机材料包括氮化物或者氧化物。

4、根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，所述第一电极是由透明导电层形成。

5、根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，所述第二电极是由金属形成。

6、根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，在平面图中看时，所述孤立部分具有闭合环形的狭缝。

7、根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，所述孤立部分从隔离体的上部到下部逐渐扩大。

8、根据权利要求1所述的有机发光器件，其特征在于，进一步包括总线，该总线设置在第一电极和基板之间，以提供驱动信号。

9、一种制造有机发光器件的方法，该方法包括：

在基板上形成第一电极；

在第一电极上形成栅格形的隔离体，以暴露出像素区，该隔离体具有凹槽形的孤立部分；

在被隔离体包围的第一电极上形成有机发光图案，该有机发光图案通过孤立部分彼此分隔开；以及

在分隔开的有机发光图案上形成第二电极，该第二电极通过孤立部分彼此分隔开，

其中所述隔离体包括：

第一无机图案，设置在第一电极上；以及

第二无机图案，设置在第一无机图案上，以形成孤立部分，

其中所述孤立部分设置在所述第二无机图案上，

其中所述有机发光图案还设置在所述孤立部分内设置的第一无机图案上。

10、根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述形成隔离体的步骤包括：

在第一电极上形成第一层；

用有机材料围绕像素区在第一层上形成闭合环形的牺牲图案；

形成覆盖牺牲图案的第二层；

形成光刻胶图案，该光刻胶图案暴露出与像素区对应的部分第二层以及与牺牲图案对应的部分第二层；

用光刻胶图案作为蚀刻掩模去除与像素区对应的部分第一层和第二层并暴露出牺牲图案，以形成暴露出像素区的所述第一无机图案以及暴露出牺牲图案的第二无机图案；以及

去除暴露出的牺牲图案，以形成孤立部分。

11、根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述第一层和第二层是由无机材料形成。

12、根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述无机材料包括氧化物和氮化物之一。

13、根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述形成牺牲图案的步骤包括：

在第一层上形成有机层；以及

用曝光工序对有机层进行构图。

14、根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述有机层是由压克力和聚酰亚胺之一形成。

15、根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述牺牲图案是通过蚀刻剂选择性地去除的。

16、根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述暴露出的牺牲图案是用氧等离子体去除的。

17、根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述第二电极是由铝和铝合金之一形成。

18、根据权利要求10所述的方法，其特征在于，进一步包括，在形成第一电极之前，在基板上形成总线以施加驱动信号。

19、根据权利要求18所述的方法，其特征在于，所述总线具有第一电阻，并且第一电极具有低于第一电阻的第二电阻。