[发明专利]复合光学元件和投影光学装置无效
| 申请号： | 200710109705.7 | 申请日： | 2007-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN101068327A | 公开（公告）日： | 2007-11-07 |
| 发明（设计）人： | 植田充纪;大岛宜浩;山本和利;丰田清;和食敦彦;加藤佑嗣;奥利弗·里波尔;胡安·M·泰吉罗 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社;索尼德国有限责任公司 |
| 主分类号： | H04N5/74 | 分类号： | H04N5/74;H04N9/31;G03B21/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 复合 光学 元件 投影 装置 | ||
1、一种复合光学元件，包括：
多个光学元件，其中
至少一个所述光学元件由改变光路的元件形成，并且
所述光学元件中的其他光学元件结合至所述改变光路的元件的入射面和/或出射面，低折射率材料层位于结合的两者之间，其中
所述低折射率材料层的膜厚度是λ/4或更大，其中λ表示采用的光的波长，其中
满足以下关系：
cos(φ-θ)＜nA/nG＜cos(θ)
其中，nA表示所述低折射率材料层的折射率；nG表示所述光学元件的折射率，θ表示光学系统的辐射角，以及φ表示光路被所述改变光路的元件弯曲的角度。
2、根据权利要求1的复合光学元件，其中
多个由具有一个或多个层的光学膜形成的抗反射膜层积在与所述低折射率材料层接触的表面上。
3、根据权利要求2的复合光学元件，其中
所述抗反射膜形成为相对于位于中间的所述低折射率材料层具有对称的膜厚度和材料。
4、一种投影光学装置，包括：
复合光学元件，其包括：
多个光学元件，其中
至少一个所述光学元件由改变光路的元件形成，并且
所述光学元件中的其他光学元件结合至所述改变光路的元件的入射面和/或出射面，低折射率材料层位于结合的两者之间，其中
所述低折射率材料层的膜厚度是λ/4或更大，其中λ表示采用的光的波长，其中
满足以下关系：
cos(φ-θ)＜nA/nG＜cos(θ)
其中，nA表示所述低折射率材料层的折射率；nG表示所述光学元件的折射率，θ表示光学系统的辐射角，以及φ表示光路被所述改变光路的元件弯曲的角度。
5、根据权利要求4的投影光学装置，其中
多个由具有一个或多个层的光学膜形成的抗反射膜层积在与所述低折射率材料层接触的表面上。
6、根据权利要求5的投影光学装置，其中
所述抗反射膜形成为相对于位于中间的所述低折射率材料层具有对称的膜厚度和材料。
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