[发明专利]快速测量细胞尺寸的微芯片及测量方法

权利要求书

1.快速测量细胞尺寸的微芯片，其特征在于主要包括基片(1)和覆盖层(7)，基片(1)上蚀刻用于让细胞通过的微通道(3)，微通道(3)的两侧分别对称设有鞘液微通道(2、4)并与微通道(3)交汇形成测量通道(5)；每路测量通道(5)都设一个测量区，测量区由通过硅微加工固定在覆盖层(7)上的压阻式微压力传感器(6)和与之对应的测量通道(5)构成。

2.根据权利要求1所述快速测量细胞尺寸的微芯片，其特征在于所述压阻式微压力传感器(6)通过硅微加工固定在覆盖层(7)上。

3.根据权利要求1所述快速测量细胞尺寸的微芯片，其特征在于所述微通道(3)、鞘液微通道(2、4)和测量通道(5)截面边长或直径为2～20μm；所述压阻式微压力传感器(6)的边长为2～200μm，厚度为20μm。

4.根据权利要求1所述快速测量细胞尺寸的微芯片，其特征在于所述基板(1)和覆盖层(7)采用石英或玻璃制成。

5.根据权利要求1、2、3或4所述快速测量细胞尺寸的微芯片的测量方法，其特征在于采用所述快速测量细胞尺寸的微芯片，具体步骤包括：

1)零点定标：将细胞微通道(3)与细胞进样泵连接，鞘液微通道(2、4)和鞘液泵连接，仅让与细胞通道大小一致的标准细胞通过微通道(3)，当单个标准细胞通过测量区时，压阻式微压力传感器(6)会感受到它对该区域的压力，这种压力使压阻式微压力传感器受应力作用而引起其电阻值变化，把输入与输出导线引出传感器，得到相应的电压输出值；

2)细胞尺寸测量函数定标：再让5～10个不同尺寸的大于该通道尺寸的标准细胞通过测量区，标准细胞的最大尺寸为细胞微通道边长的1.5倍，记录它们通过测量区时电压的输出；由不同标准尺寸的细胞输入与其对应的电压输出，建立细胞尺寸与测量区输出电压值的对应关系函数，完成细胞尺寸测量函数定标；

3)细胞尺寸测量：让被测细胞(8)通过测量区，根据输出的电压值，将其带入定标得到的细胞尺寸一电压对应函数就可以得出细胞尺寸的大小。