[发明专利]双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器

说明书

(一)技术领域

本发明涉及的是一种传感器结构，具体地说是一种微机械振动陀螺传感器。

(二)背景技术

基于微电子机械系统(MEMS)的微机械惯性仪表具有体积小、成本低、可与集成电路兼容等优点，因此有着广阔的应用前景。

微机械陀螺是近年来MEMS领域研究的一个热点。振动式微机械陀螺是其中的主要一种。它是基于科氏力的原理工作的一种微结构。这一类陀螺的工作状态受工艺加工的质量和精度、工作时的温度、气压、阻尼等因素的影响。这种陀螺的灵敏度与检测模态固有频率和驱动模态固有频率之间存在着很大的折中问题。并且，振动式陀螺驱动模态和检测模态之间会存在一定的耦合误差。这些问题都限制了这种陀螺的应用。

传统的微机械振动陀螺通常采用单自由度检测方式，即检测方向具有单一的质量块，这种陀螺的检测带宽为驱动固有频率和检测固有频率之差，而陀螺的检测灵敏度随着带宽的增大急剧减小，造成了带宽和灵敏度之间的折中矛盾问题。在检测电极设计时，通常采用平行极板的压膜阻尼检测的方式，这使得检测方向的品质因数很小，而传统陀螺检测模态的相应受品质因数影响很大，这进一步减小了陀螺的检测灵敏度。同时，传统陀螺一般采用单级解耦的结构，在陀螺驱动时，检测质量块随驱动质量块运动，这会给检测模态带来一定的耦合误差。这些问题都不利于提高陀螺检测灵敏度和增大工作带宽

(三)发明内容

本发明的目的是提供一种可以使在相同工艺难度条件下、相同静态电容值的前提下增大陀螺的检测带宽，增大检测模态的品质因数，减小阻尼对灵敏度的影响，并在一定程度上消除耦合误差的双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器。

本发明的目的是这样实现的：它包括键合在玻璃基片上的驱动方向键合块、驱动固定电极键合块、检测方向键合块和检测固定电极键合块，驱动方向键合块通过驱动方向弹性梁与驱动质量块相连，检测方向键合块通过第一自由度检测质量块的弹性梁与第一自由度检测质量块相连，驱动固定电极键合块上连接驱动固定电极，驱动活动电极连接于驱动质量块上，检测方向键合块上连接检测固定电极，检测活动电极与第二自由度检测质量块相连，第二自由度检测质量块通过第二自由度检测质量块的弹性梁与第一自由度检测质量块相连，在驱动质量块与第一自由度检测质量块之间设置有隔离质量块，隔离质量块的两侧分别通过隔离质量块与驱动质量块连接的弹性梁和隔离质量块与检测质量块连接的弹性梁与驱动质量块和第一自由度检测质量块相连。整体结构左右对称分布，上下对称式分布。

本发明的检测质量块的设计，采用双自由度质量块，即两个质量块通过一根一维的弹性梁连接在一起共同构成检测质量块，以此来增大带宽并减小品质因数对灵敏度的影响；将检测电极制作在其中一个质量块上，并采用活动电极相对固定电极平行运动的电容检测方式以增大检测品质因数；采用双级解耦的结构设计，即在驱动质量和检测质量之间加入一个隔离质量块，以使驱动质量和检测质量相对独立运动，从而消除耦合误差。

隔离质量块通过两个方向的弹性梁与驱动质量块和检测质量块相连，用相互嵌套的方式将驱动质量块和检测质量块隔离开；检测质量块为两个，两检测质量快通过弹性梁相连，构成双自由度检测；检测活动电极制作在内部检测质量块上，检测时，检测电极相互平行运动，产生滑膜阻尼。

本发明在很大程度上缓解了带宽和检测灵敏度之间的矛盾，增大模态的品质因数并减小了阻尼对灵敏度的影响，同时在一定程度上消除了耦合误差的影响。

本发明的优点在于：1、带宽大，灵敏度高；2、受工艺和品质因数影响小；3、检测方向品质因数高；4、耦合误差影响小。

(四)附图说明

附图是本发明的结构示意图。

(五)具体实施方式

该发明的制作过程大致有如下三个步骤：

1、在硅的背面用ICP干法刻蚀，刻出键合所需的台面(8个固定块)；

2、用静电键合将步骤1刻蚀出的键合台面键合在玻璃基片上形成8个固定块；

3、在硅的正面用ICP刻蚀出传感器的梁、质量块、固定和活动电极图形，释放梁、质量块和电极结构。

下面结合附图对本发明作更详细的描述：