[发明专利]一种测量半导体薄膜材料塞贝克系数和电阻率的装置无效
| 申请号： | 200710051933.3 | 申请日： | 2007-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101038265A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 杨君友;肖承京;朱文;鲍思前;樊希安;段兴凯;张亲亲;李良彪;李凯;张同俊 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/18 | 分类号： | G01N27/18;G01N27/04 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 半导体 薄膜 材料 贝克 系数 电阻率 装置 | ||
【权利要求书】：
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