[发明专利]用于半导体制造工艺中的刷片机刷片头有效
| 申请号： | 200710041243.X | 申请日： | 2007-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101310875A | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 伍强;宁开明;毛玮;陈志刚 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;A46B13/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周赤 |
| 地址： | 201206上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 制造 工艺 中的 刷片机刷 片头 | ||
【权利要求书】：
1、一种用于半导体制造工艺中的刷片机刷片头，包括主传动轴、支架，其特征在于，还包括行星轮、外圈刷子固定盘、内圈刷子固定盘，内圈刷子固定盘固定于主传动轴上并通过支架上的圆孔连接到驱动轴，外圈刷子固定盘置于固定在支架上的垂直调节卡的槽内，行星轮通过行星轮固定轴固定于支架上，啮合于内圈刷子固定盘同外圈刷子固定盘之间并可以做自由旋转运动，内圈刷子固定盘及外圈刷子固定盘上分别固定有刷子，支架固定在刷片机的非转动部分。
2、根据权利要求1所述的用于半导体制造工艺中的刷片机刷片头，其特征在于，垂直调节卡通过垂直位置调节螺丝固定于支架上，垂直调节卡同支架间的间隔距离可通过垂直位置调节螺丝调节。
3、根据权利要求1所述的用于半导体制造工艺中的刷片机刷片头，其特征在于，行星轮为齿轮，内圈刷子固定盘外缘及外圈刷子固定盘内缘有同行星轮啮合匹配的齿轮。
4、根据权利要求1所述的用于半导体制造工艺中的刷片机刷片头，其特征在于，行星轮为软质有弹性耐磨的圆形轮子，内圈刷子固定盘的外缘及外圈刷子固定盘的内缘为软质有弹性耐磨材料，行星轮啮合于内圈刷子固定盘及外圈刷子固定盘之间并与其相互摩擦。
5、根据权利要求4所述的用于半导体制造工艺中的刷片机刷片头，其特征在于，行星轮为树脂或者橡胶圆形轮子。
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