[发明专利]用于液压缸的位置测量系统

权利要求书

1.一种用于液压缸的位置测量系统，其包括：磁体(20)；至少一个传感器(30、40)；以及活塞杆(10)，该活塞杆具有高磁化率的金属杆芯(13)和大致沿轴向的凹槽结构(11)；

其特征在于

所述凹槽结构(11)填充有磁化率低于所述杆芯(13)的磁化率的金属(12)，从而所述至少一个传感器(30、40)测量根据所述凹槽结构(11)的位置而变化的磁体(20)的磁场。

2.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述至少一个传感器(30、40)沿特定方向测量所述磁场。

3.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述磁体(20)是永磁体，其南北轴线根据所述传感器(30、40)的设置和方向延伸。

4.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述凹槽结构(11)包括凹部(16)和凸部(15)。

5.如权利要求4所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，在轴向上相邻的凹部(16)或凸部(15)之间的距离相同。

6.如权利要求1或4所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述凹槽结构沿轴向具有大致周期性、具体是大致正弦曲线的形状。

7.如权利要求4或5所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，省略个别凹部(16)或凸部(15)以形成参考标记(1)。

8.如权利要求7所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述参考标记(1)设置为使得位于两个相邻参考标记(1)之间的凸部(15)或凹部(16)的数目在整个所述凹槽结构(11)上各不相同，从而两参考标记之间的各个间隔由凸部(15)或凹部(16)的数目明确地表征。

9.如权利要求7所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，在所述活塞杆(10)上需要对位置进行快速指示的区域中的参考标记(1)之间的距离小于在其余区域中的参考标记(1)之间的距离。

10.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述金属杆芯(13)为铁磁性的，填充在所述凹槽结构(11)中的金属(12)为非铁磁性的。

11.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述金属杆芯(13)由钢制成。

12.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，填充所述凹槽结构(11)的金属(12)包括铬。

13.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，填充所述凹槽结构(11)的金属(12)包括非铁磁性的镍合金。

14.如权利要求13所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述非铁磁性的镍合金包括超过10.5％的磷。

15.如权利要求1或12所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，在所述金属杆芯(13)和所述填充凹槽结构的金属(12)之间设置中间金属层(14)。

16.如权利要求15所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述中间金属层(14)包括镍。

17.如权利要求1所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述填充凹槽结构的金属(12)具有光滑的表面(17、18)。

18.如权利要求1或17所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，在所述填充凹槽结构的金属(12)上设置外部金属层(19)。

19.如权利要求18所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述外部金属层(19)包括铬。

20.如权利要求4所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述凹部(16)相对所述凸部(15)的深度约为200μm。

21.如权利要求4所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述填充凹槽结构(11)的金属(12)在所述凹部(16)上方的厚度大于200μm。

22.如权利要求4所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述填充凹槽结构(11)的金属(12)在所述凸部(15)上方的厚度约为50μm。

23.如权利要求15或16所述的用于液压缸的位置测量系统，其中，所述中间金属层(14)的厚度小于50μm。